工厂装修净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板
结构材料:1.地坪:可采用2mm/3mm环氧树脂或是PVC地坪,电子厂房选用防静电地坪。2.送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。3.工厂装修净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,其特点为美观、刚性强。4.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。湿度45-65%;GMP车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。
半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点
废气工程:由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有***体。
空压气体工程:螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成:空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。
洁净室的门窗造型要简单、平整、不易积尘、易于清洗,密封性能好
洁净室的门窗造型要简单、平整、不易积尘、易于清洗,密封性能好。门窗不应采用木质等引起微生物繁殖的材料,以免生霉或变形。门窗与内墙宜平整,不应设门槛,不留窗台。洁净室内的门宽度应能满足一般设备安装、修理、更换的需要。气闸室、货淋室的出入门应有不能同时打开的措施。洁净厂房每层高度应满足洁净室操作面净高和技术夹层布置管线要求的净空高度。需在技术夹层内更换过滤器的技术夹层墙面、顶棚宜刷涂料饰面。
排风口设计标准:室内进气保持洁净
排风口设计标准:在排风口要装有空气过滤器,还有就是送风口上装过滤静压箱,这样就可以实现室内进气保持洁净,且更换过滤器也方便;室内送、排风的时候基本采用上送下排的形式,排风口要设在室内可能被污染的区域,采用单侧布置,设置的时候不得有任何障碍,这样就保证了风源的洁净。窗帘要求:在设计的时候,传递窗可为全不锈钢材质制备,采用机械联锁控制装置,其内部要有灭菌设备。
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