洁净室(区)内设置真空泵时,应符合下列规定

洁净室（区）内设置真空泵时，应符合下列规定：1．电子工厂装修对于传输、自燃***或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。2．对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过下限的20%时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分。3．使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统。

冬季采用厂区锅炉热水供热

地板：车间内采用防静电型PVC地板，其中千级和百级车间采用防静电型架高钢板，其它为普通型PVC地板。PVC地板是当今世界上非常流行的一种新型轻体地面装饰材料，也称为“轻体地材”使用非常广泛，比如家庭、***、学校、办公楼、工厂、公共场所、超市、商业等各种场所。暖通工程设备：空调制冷负荷：经统计计算，总冷负荷约500KW。采用恒温恒湿洁净空调，夏季采用磁悬浮水冷机组，冬季采用厂区锅炉热水供热。

智能平台:洁净系统中的风量控制

智能平台：洁净系统中的风量控制采用文丘里阀门，实时监控流量及状态，可在线诊断。并可以维持房间压力、温度、湿度的平稳可靠。中控室中把空调、特气、纯水、监控、房间温湿度等参数集成管理、显示、储存，并对数据进行打印输出及溯源查找。并经设备输出在参观通道播放，方便参观。弱电系统工程：高清视频监控系统空调动力电工程：统计总用电量约830KW，空调用电约330KW。动力（镀锌线槽）沿墙体及天花敷设，再分至车间及设备电箱，安装在楼板下。主电缆采用YJV型号。