设备层的装修要求其耐火能力应与主体结构相协调，使用的材料应为非燃烧体，并应具有一定的导电性能，以防静电积蓄引起事故。地面是接受动荷载部位，经常受到行走与运输工具的磨擦或冲击，所以其耐磨擦、耐冲击性要做得远高于顶棚和墙面。地面要求不脱落、无裂缝，有耐久性、耐水性、耐碱性和保湿性，便于清扫。厂房的门窗设计要采用无窗或镶死玻璃窗，尽量缩小窗的尺寸，并充分注意其气密性，不应积尘埃。

洁净室的送、回风方式影响洁净室风量分布的主要原因是气流***、送风方式及送、回风口的数量。如果洁净室气流分布不匀出现涡流，就会减弱尘埃粒子的稀释效果，从而影响室内粒子浓度场的均匀程度。根据我们的施工实践，送风气流应该由上至下均匀分布开来以便加强扩散，减少以路线进入工作区的直射方式，稀释尘埃微粒污染，然后沿着沉降的方向从排风口排出。由此可见上送下回的送风方式较为理想。

室内、外消火栓供水系统的用水量应根据洁净室生产工作间火灾***

室内、外消火栓供水系统的用水量应根据洁净室生产工作间火灾***性类别，建筑物的耐火等级以及建筑物的体积等因素目前应根据“建筑设计防火规范”确定，当“消防给水及消火栓系统技术规范”颁布后应按新规范执行。自动喷水灭火系统的用水量应根据洁净室的火灾***性等级和“自动喷水灭火系统设计规范”确定。自动喷水灭火系统宜采用预作用式自动喷水灭火系统。

厂房布置应符合设备安装、检修要求

厂房布置应符合设备安装、检修要求：１．根据设备大小及结构，考虑设备安装、检修及拆卸所需的窨和面积；２．满足设备顺利进出车间的要求；３．通过楼层的设备，楼面上要设置吊装孔；４．必须考虑设备的检修和拆卸以及运送物料所需要的起重设备。厂房布置要符合厂房建筑要求：1．凡是笨重设备或运转时会产生很大振动的设备，如压缩机、粉碎机、大型通风机、离心机等到，应该尽量布置在厂房的底层，以减少厂房楼面的荷载和振动；2．有剧烈振动的设备，其操作台和基础不得与建筑物的柱、墙连在一起，以免影响建筑物的安全；