高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有：

1.微电子工艺对水质的要求；

2.制水工艺的水平；

3.检测技术的现状。

在高纯水的生产过程中，水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换树脂技术等去除；水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除；但是前处理系统(石英砂过滤器、活性炭过滤器、软化器)需要人工操作手动控制阀定期冲洗。水中的***，目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除；水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水应用的领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阈值电压，导致低击穿，产生缺陷，还影响材料的少子寿命，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。

一、多介质过滤

该阶段的主要任务是将自来水进行粗过滤，为进入反渗透膜做准备，保证在进入反渗透膜之前达到一定的水质，以保护反渗透膜的使用效果和使用寿命。该过程为将原水箱的自来水经过细砂，活性碳及精密过滤器的过滤，将水中的杂质，有机物，胶体，悬浮物等去除，防止这些大颗粒杂质进入反渗透膜后堵塞反渗透膜。经过粗过滤，水质有了一定的提高。超纯水设备的使用离子交换混床是通过离子交换树脂在电解质溶液中进行的，可去除水中的各种阴、阳离子，是目前制备超纯水工艺流程中不可替代的手段。并允许进入下一个环节。

二、一级反渗透

经过粗过滤的水再经过反渗透膜即为一级反渗透，反渗透膜为半透膜，能够阻止Ga2 ，Mg2 ，Fe-2，SO4-2，Cl-1，Na 等大离子通过，为保证反渗透的效果和保护反渗透膜，必须向反渗透容器中不断加入阻垢剂，同时必须保证水温在25℃以上，（冬季使用蒸汽热交换器）并保证一定的水压，（使用立泵）在一定的压力下，含离子水被挤压通过反渗透膜，从而形成两种水，凡是通过反渗透膜的水即成品水进入下一个环节，而未经过反渗透膜的水被排出，经过一级反渗透处理的水再进入下一个环节———二级反渗透。当原水通过离子交换柱时，水中的阳离子和水中的阴离子(HCO3-等离子)与交换柱中的阳树脂的H 离子和阴树脂的OH-离子进行交换，从而达到脱盐的目的。

三、二级反渗透

　　二级反渗透的原理与一级反渗透相同，其作用是进一步去除水中的盐分，（Ga2 ，Mg2 ，Fe-2，SO4-2，Cl-1，Na 等离子）使得水质进一步提高，经过二级反渗透后，水质电导率可以接近1MΩ.CM。经过一、二级反渗透预处理后，后保留下来的水成为EDI的给水，而未经过反渗透膜的水（浓水）被及时排出，其比例一般为1：3，即每生产一吨的合格水，就要排掉大约3吨的浓水（中水）。一般来讲，水处理行业中将单级反渗透的出水称为纯水，而双级反渗透的出水称为纯净水。

超滤水处理设备是以压力为推动力的膜分离过程，通过膜表面的微孔筛选可将直径为0.002-0.1μm之间的颗粒和杂质截留，可有效去除水中胶体、硅、蛋白质、微生物和大分子有机物。当液体混合物在一定的压力推动下流经膜表面时，溶剂及小分子物质透过膜，而大分子介质则被截留，从而实现大小，分子间的分离和净化目的。可广泛的应用于物质的分离、浓缩、提纯。超滤过程无相转化，不需加热，常温操作，节约能源，对热敏性物质的分离尤为适宜。超滤过程简单，配套装置少，操作运转简便，维护费用低。现在市场上纯水设备的厂家多种多样，如何选取质量过关的纯水设备也成了一门学问，我们需要了解哪些细节呢。超滤膜耐***侵蚀，PH适应范围广，超滤装置单位体积中膜面积大，***费用低，清洗简单。

水处理设备有限公司是一家***从事各类水处理设备的设计、制造、安装、调试的公司，下面小编将为您简单介绍一下纯净水设备的维护工作。

1、定期清洗石英砂、活性炭过滤器，确保前置处理器中的泥沙、杂质等及时清除。清洗周期一般根据水源的水质情况来确定，水质较好则一周清洗一次即可，水质较差时三天清洗一次为宜。

2、就要定期清洗RO元件，避免反渗透膜膜表面附着沉淀物，影响透水量。

3、定期检查高压泵及RO前置泵，并及时更换润滑油。

4、定期检查电导率仪及各压力表的工作情况。

5、当设备长期停机时，可以使用1%的甲醛溶液，充满RO组件，然后关闭所有的阀门，且定期检查。若冬季长期停机，可加入甘油，防止冻坏装置。