湿度控制是无尘车间生产必需具备的重要条件
湿度控制是无尘车间生产必需具备的重要条件,相对湿度是无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。 近年,在这些规定范围中保持处理空气过程,天津净化工程为大家介绍一下相对湿度有一系列可能使洁净室总体表现下降的因素,其中包括: 1、***生长; 2、工作人员感到室温舒适的范围; 3、出现静电荷; 4、金属腐蚀; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。
人身净化路线为了在操作中尽量减少人活动产生的污染
人身净化路线 为了在操作中尽量减少人活动产生的污染,人员在进入洁净区之前,必须更换洁净服并吹淋、洗澡、消毒。这些措施即“人身净化”简称“人净”。 人净用房中更换洁净服的房间应予送风,并对入口侧等其他房间保持正压,对厕所、淋浴保持少许正压,而厕所、淋浴应保持负压。 3、物料净化路线 各种物件在送入洁净区前必须经过净化处理,简称“物净”。 物料净化路线与人净路线应分开,如果物料与人员只能在同一处进入洁净室,也必须分门而入,物料并先经过粗净化处理。 对于生产流水线不强的场合在物料路线中间可设中间库。 如果生产流水线很强,则采用直通式物料路线,有时还需要在直通路线中间设多次净化、传递设施。 在系统设计上,物净用房的粗净化和精净化阶段由于会吹落很多生微粒,所以相对洁净区应保持负压或零压,如果污染***性大则对入口方向也要保持负压。
◆电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
◆电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
◆电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
◆电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的值:
◆补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
◆保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
◆电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项值:1:保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量;2:根据热,湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量;3:向电子制造厂洁净室给的新鲜空气量。
净化车间的装修流程
1、确认方案、报价,签订合同:无论做线上还是线下的项目,都是从咨询开始的,进一步到看现场,然后根据现场确定净化车间的装修方案以及报价,再在方案和报价确认之后,才是签订合同。
2、安装车间隔断:隔断安装是基础,我们需要按照净化车间装修规划图,把轮廓全部都做起来,然后才能进行净化车间装修的其他步骤。
3、装修天花吊顶:隔断安装完毕之后就是装修天花吊顶了,净化车间的吊顶装修相对会比较复杂一些,比如:空气过滤器,空调管道,技术夹层等等。
4、装修车间地面:吊顶装修完毕之后才轮到地面和墙壁的装修,地面一般要做地坪漆,这里就要考虑到施工的季节气候、湿度变化,以及施工完毕多久才能进去等问题。
5、空调和其他设备安装:一般情况下都是以净化相关设备安装在前,然后其他大型设备一般在后进行安装调试。
6、净化车间装修验收:***后就是验收步骤了,检查隔墙材料是否完好,各项指标是否达标,温度湿度、洁净度、气流***是否合理等等。
7、验收后付款:在上述装修验收工作全部达标后,即可签字验收,付款。
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