湿度控制是无尘车间生产必需具备的重要条件,相对湿度是无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。 近年,在这些规定范围中保持处理空气过程,天津净化工程,天津净化工程为大家介绍一下相对湿度有一系列可能使洁净室总体表现下降的因素,其中包括: 1、***生长; 2、工作人员感到室温舒适的范围; 3、出现静电荷; 4、金属腐蚀; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。
结构模式 利用普通空调机直接向空气主流区送冷风改造洁净室的原理图.洁净室建立在旧厂房内,房间高度为3m,洁净室壁采用夹芯彩钢板构筑,高约2.4m,洁净室顶部为风机室,高约0.6 m,其中装有风机箱。风机室的四周全部封闭,设有向内通风的中效过滤进风口。风机装在风机箱内,其下部是静压箱和过滤器。洁净室的下侧没有回风初过滤器,洁净室的外侧是回风夹道,回风夹道相互连通,其中至少有一个分体式分体空调机。空调机可先用普通柜式分体空调机,其出风口装有导流罩和冷风管,冷风管另一端装在风机室内。一般情况下普通空调的送风机可将冷风送到15 m以外,基本能满足一般中小型洁净室的使用,当送风距离较远时,可在冷风管上加装风机以增加送风压力。必须注意的是导流罩和冷风管须作保温处理。普通柜式分体空调机的室内机的厚度一般在0.25m~0.35 m (空调机制冷量5000W~15000W)考虑到导流罩的宽度,天津净化工程哪家好,回风夹道的宽度可做成0.5 m ~0.7 m。当选用壁挂式空调时,该回风夹道的宽度还可减小,天津净化工程施工,其余回风夹道的宽度可做成0.1 m。这样,洁净室的设计可地利用建筑空间。
洁净室的分类按用途分类按用途可分为两大类:(1)工业洁净室--以无生命的微粒作为控制对象。主要控制无生命微粒对工作对象的污染,天津净化工程设计,内部一般保持正压。它适用于精密工业、电子工业、宇航工业、原子能工业、印刷工业、照相工业等部门。(2)生物洁净室--以有生命的微粒为控制对象,又可分为:①一般生物洁净室。主要控制有生命微粒对工作对象的污染。同时内部材料要经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保持正压。可用于制药工业、食品工业、设施、实验设施等。②生物安全洁净室。主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染,内部需保持负压。用于实验设施、生物工程、设施等。按气流分类按气流可分为四类:⑴单向流洁净室⑵非单向流洁净室(乱流洁净室)⑶矢角流洁净室⑷混合流洁净室(局部单向流洁净室)
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