根据选取的冲洗量，对易挥发介质或温度较高的介质冲洗量要适当大一些。

冲洗量可以用节流闲来改变，也可以用限流孔板来控制。由于节流间没有量的概念，所以现在大多用限流孔板。按需要的冲洗量和孔板前后的压差来确定孔板的直径。换言之，孔径确定后，孔板前后的压差一定，冲洗量就确定了，无法调节。可用计算的方法近似地按孔板流量公式计算孔板的孔径，但是由于孔板结构不同，计算结果需通过实验进行修正。既然如此，直接用实验结果更为方便。所以，冲洗量”大都用实验图表查得。目前用的孔板有两种结构。一种是法兰联接的，另一种是螺纹联接的。法兰联接的孔板结构简单，拆装方便。厚度为4～5mm的圆板带有“尾巴”，以便于安装，上面打钢印，表示孔径的数值。通常用不锈钢板制造。

机械密封件；用途为半导体制造设备匀胶机用。轴与设备之间存在一个圆周间隙，设备中的介质通过该间隙向外泄漏，如果设备内压力低于大气压，则空气向设备内泄漏，因此必须有一个阻止泄漏的轴封装置。原理为磁铁和转轴所构成的磁性回路，在磁铁产生的磁场作用下，把放置在轴与顶端缝隙间的磁流体加以集中，使其形成一个所谓的“O”形环，将缝隙通道堵死而达到密封的目的。功能为把旋转运动传递到密封容器内，实现真空密封。行业上称为“转动轴封”

机械密封概述

1.定义

由至少一对垂直于旋转轴线的端面在流体压力和补偿机构弹力（或磁力）的作用以及辅助密封的配合下保持贴合并相对滑动而构成的防止流体泄漏的装置。

2.基本结构

机械密封一般主要由四大部分组成：

①由静止环（静环）和旋转环（动环）组成的一对密封端面，该密封端面有时也称为摩擦副，是机械密封的核心；

②以弹性元件（或磁性元件）为主的补偿缓冲机构；

③辅助密封机构；

④使动环和轴一起旋转的传动机构。

骨架油封的密封原理及应用

?骨架油封共分三部分：自紧弹簧、密封主体、加强骨架。

?骨架油封的密封原理：由于在油封与轴之间存在着油封刃口控制的油膜，此油膜具有流体润滑特性。

? 密封原理解析：骨架油封的作用下，油膜的刚度恰好使油膜与空气接触端形成一个新月面，防止了工作介质的泄漏，从而实现旋转轴的密封。

油封的密封能力，取决于密封面油膜的厚度，厚度过大，油封泄漏；厚度过小，可能发生干摩擦，引起油封和轴磨损；密封唇与轴之间没有油膜，则易引起发热、磨损。因此，在安装时，必须在密封圈上涂些油，同时保证骨架油封与轴心线垂直，若不垂直，油封的密封唇会把润滑油从轴上排干，也会导致密封唇的过度磨损。在运转中，壳体内的润滑剂微微渗出一点，以达到在密封面处形成。