由于对零件形位公差的测量方式可以灵活多变，零件形状不同测量方式就有一定的差异，但是无论什么形状的零件都需要确定一个测量基准，在统一的基准上对零件进行测量。对于平面度、位置度、垂直度、平行度及其他形位公差测量，能够使用三坐标测量的，优先使用三坐标进行测量。

零件表面粗糙度测量

零件表面粗糙度测量时，采用粗糙度测量仪进行测量。

零件硬度测量

对金属件表面硬度的测量，应使用洛氏硬度计进行测量；橡胶件硬度采用邵氏硬度计进行测量。

测径仪的外壳部件

测径仪的外壳部件是支撑和保护测径仪内测头部件、主盘部件、电路系统以及其他零部件的结构件。测径仪的外壳部件是封闭式结构，以保证测径仪不受外部粉尘、水雾的影响。

测头部件

测头由发射镜头、接收镜头、CCD及信号采集计算部分组成。测径仪工作时，由CCD成像法的光学测头被测物的光学信号，使被测物在CCD芯片上成像；CCD芯片再将光学信号转换成电信号；电信号通过模数转换后形成数字信号传输给工控机进行计算、曲线拟合等复杂运算。运算结果将同时在主控室LCD液晶显示器和现场LED显示屏上显示。

结构及原理

内径千分尺是根据螺旋付传动原理进行读数的通用内尺寸测量工具。主要由微分头、测量触头和各种接长杆组成。成套的内径千分尺配有调整量具，用于校对微分头零位。

微分头结构：主要有测头、锁紧螺钉、固定套管、微分筒、测微螺杆等组成，示值范围一般有：13mm, 25mm，50mm，测量下限50mm，75mm，100mm，150mm等，分度值为0.01毫米。

接长杆结构：测量头、芯杆等。

测量触头：调整量具（卡板）

作为测量被测量物的内径的装置，有被称作孔径测量器的内径测量器。该内径测量器包括主体、具有与该主体螺纹配合的螺纹部且沿轴向进退的测杆、设置于主体且沿与测杆的轴向大致正交的方向进退的多个测量触头、和设置在这些测量触头与测杆之间且随着测杆的轴向的进退使测量触头沿与测杆的轴向大致正交的方向进退的圆锥构件。在该内径测量器中，设置于测杆的螺纹部的导程为 0.5mm，而且为了使测量触头的移动量与测杆的进退量相等，圆锥构件的圆锥角 α 通常为大致 53 度。即，( 一个测量触头的移动量 ) ＝ ( 测杆的进退量 )×tan(α×1/2)，由于 tan(53×1/2) ≈ 0.5，因此，通过使圆锥角 α 为大致 53 度，测量触头的移动量 ( 多个测量触头中的两个测量触头的移动量的合计 ) 与测杆的进退量相等。在这样的内径测量器中，由于测杆的螺纹部的导程为 0.5mm，因此，测量者在测量很多的大小各异的被测量物时，为了使测量触头进退而需要使测杆的螺纹部旋转许多圈，存在操作性及作业效率较差这样的问题。