被动式高的精度电容位移传感器：代表型号：48XX 系列，88XX系列，Mini系列

被动式电容传感器为一种非接触式精密位置传感器。基于追求的线性和稳定性而设计，其测量带宽高达20千赫-专用于伺服系统位置反馈和快速机床伺服应用理念。

主动式高的精度电容位移传感器：代表型号，58XX系列，68XX系列

-----突破纳米分辨率壁垒——实现亚纳米分辨率与快速响应-高达100千赫带宽!

6810型高分辨率电容式传感器提供了进的位置和位移性能测量。6810是专为“高动态”测量高速旋转或振荡的物体，如精密硬盘驱动主轴电机、精密空气轴承主轴和机械轴承

电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂和研发部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。

电容式微位移传感器是将待测位移转换为电容量变化的装置。它实质上是个具有可变参数的电容器。和其他传感器不同，电容式位移传感器输入能量极低，只需要非常小的输入力。由于带电板板之间的静电引力很小，只有几个牛顿，因此电容传感器特别适用于解决输入能量极低的测量问题，尤其适合于微小的位移测量。

电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，静力水准仪，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。

电容位移传感器特点　　1.旋转轴的径向跳动，轴向窜动和回转精度；

　　2.往复机构的运动特性和重复***精度；3.正弦波激振和脉激振中振动测量；

　　4.机器零部件相对振动相对变形；

　　5.盘类零件的端面振摆；

　　6.轴承间隙和油膜厚度；

　　7.检测零部件尺寸和平直度；

　　8.线切割机床电极丝的振动；

　　9.机床主轴热位移与动态加载试验测量；

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