




左侧隔离膜片比右侧隔离膜片更清晰。在这张照片中清晰可见的一个特征是左侧隔离膜片与内部金属框架之间的间隙较小,而传感膜片所在的宽敞腔室则较小。
回想一下,这些内部空间通常由填充流体占据,其目的是将压力从隔离膜传递到传感膜片。如前所述,激光位移传感器,实心金属框架限制了每个隔离膜片的行程,使得高压隔离膜片在传感膜片被推过其弹性极限之前在金属框架上“底部”。通过这种方式,位移传感器厂家,可以保护传感膜片免受过压损坏,因为隔离膜片根本不允许再移动得更远。
随着微机电技术的发展,如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构,它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极,中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状,廊坊位移传感器,薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外,在薄膜上还有刻蚀出的小孔,当薄膜随质量块运动时,空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构,位移传感器型号,它的可靠性是相当高的。

电容位移传感器一般用于需要很高的精度的应用环境。他们被用于测量振动,振荡,膨胀,位移,挠度和形变等等测量任务。因此,电容式位移传感器经常被用作质量保证。
电容位移传感器特点 1.旋转轴的径向跳动,轴向窜动和回转精度;
2.往复机构的运动特性和重复***精度;3.正弦波激振和脉激振中振动测量;
4.机器零部件相对振动相对变形;
5.盘类零件的端面振摆;
6.轴承间隙和油膜厚度;
7.检测零部件尺寸和平直度;
8.线切割机床电极丝的振动;
9.机床主轴热位移与动态加载试验测量;
10.也可用于金属导体之外的绝缘物体(如大理石、塑料、砂轮、玻璃、陶瓷等)的振动、位移测量。
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