随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，当薄膜随质量块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构，它的可靠性是相当高的。如果情况不是因为高频干扰、静电干扰或者是中性不够好的造成的，那么就有可能是电源的功率太小造成的。

温度稳定性好。

传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料， 又因本身发热，对稳定性影响甚微。

结构简单，适应性强，待测体是导体或半导体均可,可在恶劣环境中工作。

电容式传感器结构简单，易于制造，可做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高低温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中，也能对带有磁性的工件进行测量。

动态响应好。

由于极板间的静电引力很小，可动部分做得很小很薄，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫的频率下工作，特别适合动态测量，如测量振动、瞬时压力等。

可以实现非接触测量，具有平均效应。

例如非接触测量回转轴的振动或偏心、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减小工作表面粗糙等对测量的影响.

直线位移传感器也叫电子尺实际上就是一个滑动变阻器，那么直线位移传感器在使用时应注意哪些事项呢?首先电子尺是作为分压器使用，以相对电压来显示所测量位置的实际位置。因此，就对这个装置(电子尺)提出了几点要求：

不能接错电子尺的三条线，1#、3#线是电源线，2#是输出线除1#、3#线电源线可以调换外，2#线只能是输出线。上述线一旦接错，将出现线性误差大，控制精度差，容易显示跳动等现象。如果出现控制非常困难，就应该怀疑是接错线。安装对中性要好，角度容许±12°误差，平行度偏差容许±0.5mm，是指某一误差，如果角度误差和平行度误差都偏大，就会导致显示数字跳动。在这种情况下，一般可以用万用表的电压档测出电压的波动。一定要作角度和平行度的调整。下面位移激光传感器厂家就来为大家详细介绍一下位移激光传感器的优势特点有哪些。请特别注意：在现场将电子尺的铝合金支架更换成不锈钢支架后，同时应将拉杆牵引安装位升高2 Mm。

位移传感器的主要特性参数（位移传感器原理）

标称阻值：电位器上面所标示的阻值。

允许误差：标称阻值与实际阻值的差值跟标称阻值之比的百分数称阻值偏差，它表示电位器的精度。允许误差一般只要在 ±20%以内就符合要求,因为一般位移传感器是以分压的方式来使用,具体电阻的大小对传感器的数据采集没有影响.

线性精度:直线性误差.此参数越小越好.

寿命:导电塑料位移传感器都在200万次以上.

重复精度:此参数越小越好.

分辨率:位移传感器所能反馈的较小位移数值.此参数越小越好.导电塑料位移传感器分辨率为无穷小.