电容式位移传感器尤其适合缓慢变化或微小量的测量，一般来说采用电容式传感器进行检测比较适宜。在丈量上面位移激光传感器要比超声波传感器更加灵活，它可以根据物体的多种方位进行丈量。电容式位移传感器的这些性能必然促使其应用范围越来越广泛。主要用于解决压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等测量问题。

优点：具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。

把手指放在边缘电场的附近将增加电容式传感系统的导电表面积。由手指所产生的额外电荷存储容量就是已知的手指电容CF。无手指触摸时的传感器电容用CP来表示。

关于电容式传感器的一个常见的误解是：为了使系统正常工作，手指必须接地。实际上，手指被传感的原因在于它带有电荷，而这与其是否悬空或接地完全无关。

从汽车领域、制造业、消费电子到***等各个行业对电容式位置传感器的需求量在持续增长。该传感器还可与控制室中的二次仪表或控制器相连，在线、连续、实时的检测各种数据然后直接显示，远程控制和报警。与机械式开关相比，基于电容的触摸传感器的主要优点是耐用性好，不易损坏，可以长期使用。混合信号技术的近期发展，不仅使得触摸式传感器的成本在各种消费类产品中降到了具有成本效益的水平，而且还提高了检测电路的灵敏度和可靠性（因为增加了覆盖层的厚度和耐用性）。电容式触摸传感器成为机械式开关元件的一种实用型替代方案。

主要用于解决下述各种测量问题：

压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。

电容式位移传感器的性能

电容式位移传感器是以电容器为敏感元件，将机械位移量转换为电容器电容量变化的一种传感器。其特点是结构简单、分辨率高、工作可靠、动态响应好，可实现非接触测量，能在恶劣环境条件下工作，主要用于位移、液位等方面的测量。