电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。

电容的两极分别是传感器和与之相对的被测物体。如果有稳定交流电通过传感器，输出交流电的电压会与传感器到被测物体之间的距离成正比关系，从而可以通过测量电压的变化得到距离信息。

涡流或电容位移传感器

涡流传感器是非接触式设备，可测量位置和/或导电组件位置的变化。该传感器在磁场下工作。该传感器具有一个探针，该探针在探针的产生交流电。交流电会在我们正在监视的组件中产生小的电流，称为涡流。传感器监视这两个磁场的相互作用。随着现场互动的变化传感器将产生与两个场相互作用的变化成比例的电压。但是位移激光传感器可以运用于各种物体位移、厚度、振动、间隔、直径等精密的几何丈量。

使用涡流传感器时对于正常操作，组件的直径至少应大于传感器直径的三倍；否则，将需要校准。

电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂和研发部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。位移激光传感器以其独特的丈量原理，已经广泛运用于产业、航天多种领域。

电容式微位移传感器是将待测位移转换为电容量变化的装置。它实质上是个具有可变参数的电容器。和其他传感器不同，电容式位移传感器输入能量极低，只需要非常小的输入力。由于带电板板之间的静电引力很小，只有几个牛顿，因此电容传感器特别适用于解决输入能量极低的测量问题，尤其适合于微小的位移测量。那么，容量不足，就会造成如下的情况：熔胶的运动会使合模电子尺的显示变换，有波动，或者合模的运动会使射胶电子尺的显示波动，造成测量结果误差很大。