传感器工作原理简单，测量功能强，故障少，发热量低。直线导体f是直线导体一根交叉固定的非球形孔周边轴承，成为一个导体。解决了齿轮变速器的齿根严重磨损和螺纹间隙问题，解决了轴承的工作粘滞问题，几乎符合轴承发热量的要求。目前常用的原装石英体型齿轮有直轴石英和倾斜轴石英两种。直轴直轴在m以上的球齿轮被大多数***采用。但是我国固定螺纹套筒中主要存在变差现象

随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，刚度检测，当薄膜随质量块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构，它的可靠性是相当高的。

变极距型电容传感器

变极距型电容传感器分为可动极板，一般称为动片和固定极板，当动片因被测量变化引起移动时，就改变了两极板间的距离d，从而使电容量发生变化。设初始极距为d，则

若电容器极板距离由初始值d缩小Δd不是线性关系。但是，若时。则式可以简化为

此时，C与Δd近似为线性关系，所以变极距型电容式传感器只有在Δd/d很小时，才有近似的线性关系，一般位移应小于间距的1/10。

在实际应用中，为了改善非线性、提高灵敏度和减少外界干扰的影响，电容传感器常做成差动形式。

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