电容式位移传感器是以电容器为敏感元件，将机械位移量转换为电容器电容量变化的一种传感器。其特点是结构简单、分辨率高、工作可靠、动态响应好，可实现非接触测量，能在恶劣环境条件下工作，主要用于位移、液位等方面的测量。电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。但是位移激光传感器可以运用于各种物体位移、厚度、振动、间隔、直径等精密的几何丈量。主要类型为ZCS1100型、ZNXsensor型、FWS-CⅡ型、FW-C1型。

电容位移传感器主要特点：能测量室内侧和室外侧的部分、车轮的位移、安全气囊的起动，在控制变速箱和液压系统工作的条件下完成起动、运动及停止等操作。适用范围：液压油管、制动油管、液压箱、液压片和立式、蹲式、动力罩、充油孔、流量计、分速阀及气缸（含冷却液）等和车轮和缸和坐位显示系统（兼备高测量安全装置）的使用。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。

电容式位移传感器的使用方法：

1、要安装传感器，调整初始间隙，进行测量。

2、按下测量键，将传感器借助弹性夹套安装到磁表座上，使测量电极板端面接近被测物体的表面，平面或圆柱面，尽可能平行，球面尽可能对中，调整的初始间隙有参考值，调整时有“ ”电压输出，反时针转动传感器微调螺母，使测量间隙逐渐增大，输出电压会逐渐接近零点，借助“调零”旋扭细调，使输出准确为0，调整时有“—”电压输出，顺时针转动微调螺母，使测量间隙逐渐减小、输出电压会逐渐接近零点，测量即可开始。其主要由上下两电极、绝缘体、衬底构成，在压力作用下，薄膜产生一定的形变，上下级间距离发生变化，导致电容变化，但电容并不随极间距离的变化而线性变化，其还需测量电路对输出电容进行一定的非线性补偿。

3、测量时，被测物体表面接近传感器，测量间隙减小，表示被测尺寸增加，输出为“ ”电压，反之输出为“—”电压，仪器输出的“ 、—”电压就是相对应量程的静态位移。