位移的测量方式所涉及的范围是相当广泛的。小位移通常用应变式、电感式、差动变压器式、涡流式、霍尔传感器来检测，大的位移常用感应同步器、光栅、容栅、磁栅等传感技术来测量。其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高（目前分辨率可达到纳米级）、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用可靠等优点，在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。能够加紧建立人类与天然出产领域之间的联系新技术革命以及科技时代的到来使世界进入信息时代的浪潮。

电容位移传感器

它通过电位器元件将机械位移转换成与之成线性或任意函数关系的电阻或电压输出。普通直线电位器和圆形电位器都可分别用作直线位移和角位移传感器。但是，为实现测量位移目的而设计的电位器，要求在位移变化和电阻变化之间有一个确定关系。电位器式位移传感器的可动电刷与被测物体相连。电容位移传感器，英文名称为capacitivetypetransducer，是一种将其他量的变换以电容的变化体现出来的仪器。

物体的位移引起电位器移动端的电阻变化。阻值的变化量反映了位移的量值，阻值的增加还是减小则表明了位移的方向。通常在电位器上通以电源电压，以把电阻变化转换为电压输出。线绕式电位器由于其电刷移动时电阻以匝电阻为阶梯而变化，其输出特性亦呈阶梯形。如果这种位移传感器在伺服系统中用作位移反馈元件，则过大的阶跃电压会引起系统振荡。因此在电位器的制作中应尽量减小每匝的电阻值。电位器式传感器的另一个主要缺点是易磨损。它的优点是：结构简单，输出信号大，使用方便，价格低廉。能工作在高低温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中，也能对带有磁性的工件进行测量。

磁致伸缩位移传感器通过非接触式的测控技术精准地检测活动磁环的位置来测量被检测产品的实际位移值的；该传感器的高的精度和高可靠性已被广泛应用于成千上万的实际案例中。

温度稳定性好。

传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料， 又因本身发热，对稳定性影响甚微。

结构简单，适应性强，待测体是导体或半导体均可,可在恶劣环境中工作。

电容式传感器结构简单，易于制造，可做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高低温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中，也能对带有磁性的工件进行测量。

动态响应好。

由于极板间的静电引力很小，可动部分做得很小很薄，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫的频率下工作，特别适合动态测量，如测量振动、瞬时压力等。

可以实现非接触测量，具有平均效应。

例如非接触测量回转轴的振动或偏心、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减小工作表面粗糙等对测量的影响.

无接触式电容传感器的工作原理是测量被称为电容的电性能之变化。电容这一术语描述两个相距一定距离的导电物体如何对施用于它们的电压差作出反应。当对导体施以电压后，导体之间就会形成电场，该电压可令正负电荷分别在每个物体处聚集。如果电压的极性改变，正负电荷也会随之改变。电容式加速度传感器又称变电容式加速度传感器，它的结构原理如下图所示，一个质量块固定在弹性梁的中间，质量块的上端面是一个活动电极，它与上固定电极组成一个电容器C1。

电容式位移传感器是以电容器为敏感元件，将机械位移量转换为电容器电容量变化的一种传感器。其特点是结构简单、分辨率高、工作可靠、动态响应好，可实现非接触测量，能在恶劣环境条件下工作，主要用于位移、液位等方面的测量。