善测（天津）科技有限公司位于天津市西青学府工业区，于 2015年 7 月份成立，公司注册资本 500 万，是一家集研发生产一体的高科技公司。公司借助天津大学仪器科学与技术学科及精密测试技术及仪器国家重点实验室的资源平台和技术优势，由从事仪器领域科学研究及产品开发的教授和工程师共同创立，专业从事先进传感器和监测系统的研发、生产、销售和服务，为航空国防、工业制造、农业环保、能源石化、科研仪器等行业提供优质的监测系统及行业解决方案。

公司在2015年成为科技型中小企业，并设立了院士工作站，目前主要开发和经营以下3类产品和服务：旋转机械状态监测和健康管理、光电视觉及环保检测、高精度几何量检测。相关技术打破国外垄断，技术水平达到国外同类产品的先进水平。

科学院光电技术研究所微电子装备总体研究室在纳米级高精度检焦系统方法研究中取得新进展：提出了一种双光路光强调制光栅检焦方法，该方法利用两光路的信号比求解硅片的离焦量，消除了光强波动导致的测量误差，具有纳米量级的测量精度，在光刻领域具有很大的应用价值。相关结果发表于近期的IEEE Photonics。

提高分辨力一直是光刻技术发展的主旋律，由瑞利公式R=K1λ/NA可知，缩短波长是提高分辨力的有效手段。每次更短波长光刻的应用，都促使集成电路性能得到极大提升。而由焦深公式DOF=K2λ/NA2可知，提高分辨力总是以牺牲焦深为代价的。目前主流的投影光刻设备，即使采用离轴照明等波前工程技术，焦深也仅维持在百纳米量级，加上由真空吸附翘曲、衬底平整度、抗蚀剂厚度等引起的基片表面起伏变化焦深范围进一步缩小，为了使基片表面始终保持在投影系统焦深范围内，保证曝光图形质量，对检焦系统提出了极高的要求。目前最常用的调焦调平方法还是基于光栅的光电测量方法。该方法虽然精度较高且易于实现，但该测量方法易受光源或反射率波动引起的光强变化的影响，从而降低检测精度。因此，研究新型的检焦方法和消除光强波动带来的测量影响具有重要的研究价值。

善测（天津）科技有限公司位于天津市西青学府工业区，于 2015年 7 月份成立，公司注册资本 500 万，是一家集研发生产一体的高科技公司。公司借助天津大学仪器科学与技术学科及精密测试技术及仪器国家重点实验室的资源平台和技术优势，由从事仪器领域科学研究及产品开发的教授和工程师共同创立，专业从事先进传感器和监测系统的研发、生产、销售和服务，为航空国防、工业制造、农业环保、能源石化、科研仪器等行业提供优质的监测系统及行业解决方案。

我见过有的传感器使用单位，动辄要几个微米，甚至纳米级别的测量精度，测量速度还超高，问其真的有必要提这么高的要求吗？回答却往往是不必要，或者要求高余量大。但是大家要记住，没有无代价的指标提升，每一个高指标背后都是真金白银的付出。另外选择激光位移传感器时，要特别注意一点，各家厂商对参数的标注标准是不一样的。如德国品牌，通常标注的是真实参数，甚至是保守参数。而日系品牌，在标注时，会以平均后的结果为准。看参数表时，要仔细看看下面的小字，日系品牌超高的参数往往源自多次平均后的结果。光学测量会产生一些毛刺，通过平均的方法可以大大平滑

光电所在纳米级高精度测量系统方法研究中取得新进展

公司在2015年成为科技型中小企业，并设立了院士工作站，目前主要开发和经营以下3类产品和服务：旋转机械状态监测和健康管理、光电视觉及环保检测、高精度几何量检测。相关技术打破国外垄断，技术水平达到国外同类产品的先进水平。　

美国国家标准与技术研究院（NIST）的科学家们开发了一种新的装置，可以测量超微粒子的运动，这些超微粒子的运动距离小得不可想象，比氢原子的直径还小，或者说比一个人的头发丝的百万分之一还小。这种手持设备可以以前所未有的精度探测微小零部件的原子级运动，而且，研究人员还找到了这种高灵敏度测量工具的量产方法。

　 测量大型物体的小运动是比较容易的，但是当移动部件的尺寸为纳米级时，难度就会加大。精准测量微观物体的微小位移的能力，可用于检测微量的危险生物或化学试剂，完善微型机器人的运动，精准部署气囊，以及检测通过薄膜传播的极弱声波。

超精密加工设备的发展历史

善测（天津）科技有限公司位于天津市西青学府工业区，于 2015年 7 月份成立，公司注册资本 500 万，是一家集研发生产一体的高科技公司。公司借助天津大学仪器科学与技术学科及精密测试技术及仪器国家重点实验室的资源平台和技术优势，由从事仪器领域科学研究及产品开发的教授和工程师共同创立，专业从事先进传感器和监测系统的研发、生产、销售和服务，为航空国防、工业制造、农业环保、能源石化、科研仪器等行业提供优质的监测系统及行业解决方案。

纵观国内外 40 多年超精密机床 发展史，可以总结出两大特点：一是 大学和研究所保持着对超精密机床 研究的持续热情，对高技术进行超前 研究，对超精密机床产业化和商品化 起着推动的作用；二是超精密机床 的模块化、系统化是其进入市场的重 要技术手段。

美国是开展超精密加工技术研 究早的国家，也是迄今处于领头地位的国家。早在 20 世纪 50 年代末，由于航天等尖端技术发展的需 要，美国首先发展了金刚石刀具的超 精密切削技术，称为SPDT（技术， 并 发展了相应的空气轴承主轴的超精 密机床，用于加工激光核聚变反射 镜、及载人飞船用球面非球 面大型零件等。

美国Union Carbide公司于 1972 年研制成功了 R θ 方式的非 球面创成加工机床。这是一台具有 位置反馈功能的双坐标数控车床， 可实时改变刀座导轨的转角 θ 和 半径 R ，实现非球面的镜面加工。 Moore公司于1980 年首先开发出了 用3个坐标控制的M-18AG 非 球 面加工机床，这种机床可加工直径为 356mm 的各种非球面金属反射镜。 英国Cranfield大学精密工程研究 所(CUPE)研制的大型超精密金刚 石镜面切削机床，可以加工大型 X 射线天体望远镜用的非球面反射镜 (大直径可达1400mm，大长度为 600mm 的圆锥镜 )。