CDMS使用电容传感器实现非接触位移、位置、振动、角度、介电常数及各种形变、厚度、刚度等参数的高精度检测。基于理想平板电容原理设计研发的，被测物体与传感器各自作为一个平板电极。给传感器一个持续稳定的交流电，交流电压的振幅变化与电容到被测物体之间的距离成正比。交流电经过解调，可以输出为模拟量信号。

公司相关技术打破了国外垄断，技术水平达到国外同类产品的***水平。为航空国防、工业制造、农业环保、能源石化、科研仪器等行业提供优质的监测系统及行业解决方案。

随着科学技术的发展，工业生产需要人们对微位移测量的精度和***的精度提出更高的要求。在众多的测量仪器当中，非接触式测量仪器由于其自身的优点，成为微位移测量领域的主流研究方向之一。而电容测微技术作为非接触式测量微位移的重要手段，具有温度稳定性好、测量范围大、测量精度高、动态响应好、结构简单、稳定可靠、使用方便，并可实现无接触式测量等一系列优点，特别适宜动态、在线检测，并能在特殊环境下工作特别是随着集成电路技术和计算机技术的发展，促使电容传感器扬长避短，使电容传感器成为一种很有发展前途的传感器，近年来得到了大范围的研究和推广，广泛应用于航天航空技术、精密机械加工以及其他工业测控领域中，主要用来测量各种介质的薄膜厚度、金属微变、微小相对位移、微小孔径及各种截面的形状误差等。尤其能在强光照射、***条件、过载冲击震动等恶劣环境下工作。

光学干涉显微镜测量技术，包括外差干涉测量技术、超短波长干涉测量技术、基于F-P(Febry-Perot)标准的测量技术等。随着新技术、新方法的利用亦具有纳米级测量精度。外差干涉测量技术具有高的位相分辨率和空间分辨率，如光外差干涉轮廓仪具有0.1?nm分辨率；基于频率跟踪的F-P标准具测量技术具有极高的灵敏度和准确度,其精度0.001?nm，其测量范围受激光器调频范围的限制，仅有0.1?μm。而扫描电子显微镜(SEM)可使几十个原子大小物体成像。