根据加工方法的机理和特点，精密和超精密加工方法，可以分为去除加工、结合加工和变形加工三大类。

（1）去除加工。又称为分离加工，是从工件上去除一部分材料，传统的机械加工方法，如车削、铣削、磨削、研磨和抛光等，以及特种加工中的电火花加工、电解加工等，均属这种加工方法。

（2）结合加工。利用物理和化学方法，将不同材料结合(bonding)在一起。按结合的机理、方法、强弱等，它又分为附着、注入(injection)和连接(jointed)三种。

（3）变形加工。又称为流动加工，利用力、热、分子运动等手段，使工件产生变形，改变其尺寸、形状和性能。

电容式非接触式测微仪，通过电容测头可以测量0-200μm范围内的微小位移，测量精度为纳米级。测微仪由机箱与传感模块组成，可组成多测量通道数。

模块化设计、自由组拼、高分辨率、模拟输出、非接触式测量。

它基于一个理想的平行板电容器原理，传感器与相对面被测目标形成的两个电极，采用保护环电容器原理，用于测量任何金属时，传感器仍是线性的。