从20世纪50年代至70年代，栅式测量系统从感应同步器发展到光栅、磁栅、容栅和球栅，这5种测量系统都是将一个栅距周期内的测量和周期外的增量式测量结合起来，测量单位不是像激光一样的光波波长，而是通用的米制(或英制)标尺。它们有各自的优点，相互补充，在竞争中都得到了发展。但光栅测量系统的综合技术性能优于其它4种，而且其制造费用又比感应同步器、磁栅、球栅低，因此光栅发展***快，技术性能很很高场占有率较高，产业很大。在栅式测量系统中，光栅的占有率已超过80%，光栅长度测量系统的分辨率已覆盖微米级、亚微米级和纳米级；②发明了基于该原理实现高精度(纳米级)大范围(毫米量程)位移测量的新方法。测量速度从60m/min至480m/min。测量长度从1m、3m至30m和100m。

善测（天津）科技有限公司位于天津市西青学府工业区，于 2015年 7 月份成立，公司注册资本 500 万，是一家集研发生产一体的高科技公司。我国生命科学领域一个综合性的***ji重大科技基础设施——蛋白质科学研究(上海)设施日前通过工艺测试，进入开放试运行阶段，预计于今年年底正式面向多用户、多领域开放。公司借助天津大学仪器科学与技术学科及精密测试技术及仪器******实验室的资源平台和技术优势，由从事仪器领域科学研究及产品开发的***和工程师共同创立，***从事***传感器和监测系统的研发、生产、销售和服务，为航空国防、工业制造、农业环保、能源石化、科研仪器等行业提供优质的监测系统及行业解决方案。

纳米分辨率激光干涉测量系统在超精测量和超精加工机床上得到实际应用。仪器本身的可靠性、有效率、高精度以及质量统计功能、故障诊断功能进一步提高，满足了在线测量的要求。英国Renishaw公司生产的***M10激光干涉测量系统，配备了灵敏度和精度更高的温度、气压、湿度传感器和*** EC10环境补偿装置，提高了测量精度，其稳频精度可达0.05×10-6，线性测量精度0.7×10-6，分辨率可达1nm；德国SIOS的小型激光干涉仪系列产品，有微型平面干涉仪、激光干涉测头等，可以和用户多种测量系统结合，特别适用于完成各种小尺寸范围的纳米测量任务。

　提高分辨力一直是光刻技术发展的主旋律，由瑞利公式R=K1λ/NA可知，缩短波长是提高分辨力的有效手段。每次更短波长光刻的应用，都促使集成电路性能得到极大提升。

　光电所采用三角法测量，Z向位移转化为标记光栅与检测光栅横向位移ΔX，通过两光路的信号比对横向位移量ΔX进行检测，实现检焦。这种应用方式在***及临床分析、DNA分析、环境污染监测有非常重要意义。该方法的两光路结构设计相同，两信号相位相差，利用两光路的信号比求解硅片的离焦量，消除了光强波动的影响，实现了纳米级的检焦精度。