电容式位移传感器尤其适合缓慢变化或微小量的测量，一般来说采用电容式传感器进行检测比较适宜。如果情况不是因为高频干扰、静电干扰或者是中性不够好的造成的，那么就有可能是电源的功率太小造成的。电容式位移传感器的这些性能必然促使其应用范围越来越广泛。主要用于解决压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等测量问题。

优点：具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。

电容位移传感器的一个典型案例是测量刹车盘在受力的情况下的形变。为了得到更加接近真实刹车情况下的测量结果，刹车盘必须在极端情况下进行测试。

刹车盘以2，000rpm 的速度旋转，温度高达 600°C。只有具备高测量速度或者截止频率的测量手段，才可以不被由于高温导致的，被测物体磁性和导电性能的变化所影响。因此可以说没有众多的优良的位移激光传感器现代化产业出产也就失去了基础。 传感器探头还要提供特别高的分辨率，因为刹车盘受力引起的形变低于100μm。而提供的电容式位移传感器几乎满足所有该应用的需求，是理想的选择。

控制棒是实现反应堆正常启停、功率运行和紧急停止的重要控制装置。当遇到需要停堆的紧急情况时，控制棒以自由落体的方式快速落下，达到停止反应的安全状态。普通直线电位器和圆形电位器都可分别用作直线位移和角位移传感器。但是控制棒在落棒期间可能遇到卡棒事故，运行期间可能会出现弹棒事故，因此对控制棒的棒位测量至关重要。棒位测量系统使操作人员能够及时发现控制棒是否按照的程序运行和产生故障时的位置，并迅速处理控制棒故障，以确保控制棒的安全运行。控制棒落棒过程为直线下落运动，当使用电容位移传感器测量位移时，能够准确反映电容与位移关系的方程式是知道控制棒在堆芯中位置的关键。