超精密测量用电容测微仪

电容测微仪的特点是非接触测量，精度高、价格低。但测量范围有限，测量稳定性和漂移常令人不满意。美国Lion Precision公司的电容测微仪分辨率可达0.5?mm(1?Hz频响)， 热漂移每度0.04%满量程。

精密和超精密加工技术是现代机械制造业***主要的发展方向之一，在提高机电产品的性能、质量和发展高新技术中起着至关重要的作用，并且已成为在国际竞争中取得成功的关键技术。我国的制造业发展已进入了高速发展阶段，***设备的引进和大量***人才的涌入使许多沿海地区的制造业水平迅速提高。随着***决策的科学化、民主化进程不断深入，相信我国的制造业会更快速、更健康地发展。通过全波整流电路、增益滤波电路对放大的被测信号进行解调，***后进入A/D转换进行数据处理，在单片机的控制下完成数据的显示等过程，提高了输出信号的抗干扰性。

CDMS使用电容传感器实现非接触位移、位置、振动、角度、介电常数及各种形变、厚度、刚度等参数的高精度检测。基于理想平板电容原理设计研发的，被测物体与传感器各自作为一个平板电极。给传感器一个持续稳定的交流电，交流电压的振幅变化与电容到被测物体之间的距离成正比。交流电经过解调，可以输出为模拟量信号。在工业计量中有很多需要检测的参数与位移量的变化有关，如力、流量、温度、速度、振动、密度、粘度等。

公司相关技术打破了国外垄断，技术水平达到国外同类产品的***水平。为航空国防、工业制造、农业环保、能源石化、科研仪器等行业提供优质的监测系统及行业解决方案。

1981年美国IBM公司研制成功的扫描隧道显微镜(STM)，将人们带到了微观世界。STM具有极高的空间分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分别达到0.1?nm和0.01?nm，即可分辨出单个原子)，广泛应用于表面科学、材料科学和生命科学等研究领域，在一定程度上推动了纳米技术的产生和发展。与此同时，基于STM相似原理与结构，相继产生了一系列利用探针与样品的不同相互作用来探测表面或界面在纳米尺度上表现出来性质的扫描探针显微镜(SPM)，用来获取通过STM无法获取的有关表面结构和性质的各种信息。尺寸和形位精度可用电子测微仪、电感测微仪、电容测微仪、自准直仪和激光干涉仪来测量。