精密量具和传感器展品展示了我国在纳米光栅测量系统、高精度三维数字扫描测头及蓝牙微米数显量具方面的发展。作为精密制造的关键几何量位移测量传感器，光栅测量系统占据了***重要的地位。展会上众多厂商及科研院所展示的新技术、新产品，表明了我国量具量仪制造业在高精度长度计量和测量关键基础技术上所取得的新成就：自主创新开发，拥有了纳米分辨力、亚微米精度、编码的光栅位移量传感器的成套制造技术和装备，已经生产出了能满足市场需求、批量生产的高质量可靠产品。在***重大专项的支持下，我国近期在高ji数控机床用光栅位移测量系统的开发上取得了重大的进展。这款芯片的操作过程就像弹球游戏机，但是随机性不强：它将血液或体液通过一系列的小型支柱过滤，根据细胞的不同大小对其进行区分。以西安交大为首、通过产学研结合开发的微纳米光栅滚压印成套新技术及新装备，为我国高精度精密光栅的设计制造技术和加工工艺开辟了一条崭新途径；成功开发出的高ji数控机床用长光栅，已获得用户认可。

超精密加工设备的发展历史

善测（天津）科技有限公司位于天津市西青学府工业区，于 2015年 7 月份成立，公司注册资本 500 万，是一家集研发生产一体的高科技公司。公司借助天津大学仪器科学与技术学科及精密测试技术及仪器******实验室的资源平台和技术优势，由从事仪器领域科学研究及产品开发的***和工程师共同创立，***从事***传感器和监测系统的研发、生产、销售和服务，为航空国防、工业制造、农业环保、能源石化、科研仪器等行业提供优质的监测系统及行业解决方案。然而，光能表面等离子体激元，即电子组的集体波状运动，被限制在沿着这个黄金表面和空气之间的边界行进。

纵观国内外 40 多年超精密机床 发展史，可以总结出两大特点：一是 大学和研究所保持着对超精密机床 研究的持续热情，对高技术进行超前 研究，对超精密机床产业化和商品化 起着推动的作用；二是超精密机床 的模块化、系统化是其进入市场的重 要技术手段。

美国是开展超精密加工技术研 究早的***，也是迄今处于***地位的***。早在 20 世纪 50 年代末，由于航天等***技术发展的需 要，美国首先发展了金刚石刀具的超 精密切削技术，称为SPDT（技术， 并 发展了相应的空气轴承主轴的超精 密机床，用于加工激光核聚变反射 镜、及载人飞船用球面非球 面大型零件等。ZEISS的VAST三维六向扫描测头系统，采用平行片机构，分辨率为0。

美国Union Carbide公司于 1972 年研制成功了 R θ 方式的非 球面创成加工机床。这是一台具有 位置反馈功能的双坐标数控车床， 可实时改变刀座导轨的转角 θ 和 半径 R ，实现非球面的镜面加工。 Moore公司于1980 年首先开发出了 用3个坐标控制的M-18AG 非 球 面加工机床，这种机床可加工直径为 356mm 的各种非球面金属反射镜。目前，在可以实现亚微米级加工的高ji多轴联动超精密数控机床研制方面，我国尚未取得突破性进展。 英国Cranfield大学精密工程研究 所(CUPE)研制的大型超精密金刚 石镜面切削机床，可以加工大型 X 射线天体望远镜用的非球面反射镜 (大直径可达1400mm，大长度为 600mm 的圆锥镜 )。

　提高分辨力一直是光刻技术发展的主旋律，由瑞利公式R=K1λ/NA可知，缩短波长是提高分辨力的有效手段。每次更短波长光刻的应用，都促使集成电路性能得到极大提升。

　光电所采用三角法测量，Z向位移转化为标记光栅与检测光栅横向位移ΔX，通过两光路的信号比对横向位移量ΔX进行检测，实现检焦。该方法的两光路结构设计相同，两信号相位相差，利用两光路的信号比求解硅片的离焦量，消除了光强波动的影响，实现了纳米级的检焦精度。只要选择恰当的波长，或者说频率，激光就可以使特定频率的等离子体激元沿着间隙来回振动或起振，如同拨动吉他弦产生的混响。