接触电容式高温压力传感器的温度效应
随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,微小尺寸的半导体传感器得到快速发展。半导体传感器具有体积小、重量轻、精度高、成本低、温度特性好等优点,其制造工艺和半导体平面工艺兼容,满足传感器向智能化和集成化发展的需要。从航空航天、石油化工用的仪器到涡轮发动机、内燃机的监测和控制,越来越多的领域都要求工作温度在200℃以上的压力传感器。常见的高温压力传感器材料有多晶硅、石英、 SiC、SOI(Silicon on Insulator)、SOS(蓝宝石上硅)等。SOI的低压、低功耗、电隔离等优势,提高了传感器对恶劣环境的适应性,基于硅隔离SOI技术的耐高温压力传感器得到了广泛应用。相对于硅压阻式压力传感器,电容式压力传感器具有低噪声、高灵敏度、低温漂、动态变化范围大等显著优点。
接近传感器它可以代替诸如限位开关等接触检测方法的传感器,可以达到无接触检测对象的目的。它可以检测物体的运动信息和存在信息,并将它们转换成电信号。
接近传感器可以检测靠近传感器的金属物体而不与物体实际接触。根据操作原理,接近传感器大致可分为三种类型:电磁感应式高频振荡型、磁性型和电容式。
特点:
●非接触式检测避免了传感器本身和目标的损坏。
●无触点输出,光纤传感器报价,使用寿命长。
●即使在有水或油飞溅的恶劣环境中也能稳定检测。
●快速响应。
传感器头小,安装灵活。
物联网想要走得远,要看传感器的发展程度。不管是从机器间的信息协作、测量、分析到控制,都要靠传感器来搜集信息。
谁掌握了传感器,光纤传感器公司,谁就掌握了物联网的未来。
而同时,光纤传感器,中国想要在物联网甚至是工业物联网取得一席之地,传感器便是***适合中国的切入点。过去制造业与半导体产业的经验,将有效地协助中国在物联网的未来获得一席之地。
如果没有传感器来检测压力、位置、温度等重要的生产数据,光纤传感器应用,工业物联网(Industrial Internet of Things,IIoT)也不会有今天的发展。基本上,工业物联网以及消费者物联网(C***umer Internet of Things,IoT)的成长,都伴随传感器市场的扩张,而传感科技的创新与研发也会刺激 物联网产业的潜力与发展力度。
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