电容传感器中一些量的变化范围在变极间距离的电容传感器中，由于减小极间距离可以提高灵敏度，多用来测量微米级的位移，一般极板间距离不超过1mm，位移量应限制在间距的1/10范围内;在变极板工作面积的传感器中，可以测量厘米级的位移。与机械界面相比，它们不仅能够缩小系统电路板尺寸，而且还能降低功耗。在电容传感器中，正确选择电容的大小是很重要的。合理的设计既可以使传感器满足测量范围的要求，又可以提高灵敏度，减小非线性误差。一般其电容的变化在103PF～104PF范围内，相对值ΔC/C的变化则在10-6～1范围内。电容元件输出阻抗一般在108Ω～106Ω，该数值还与所采用的交流电源频率有关。为了减小绝缘电阻的影响和提高灵敏度，电源频率一般采用在50kHz以上，但是采用高频电源使信号放大、传输等问题比低频时复杂的多。