高纯水是化学纯度极高的水，其中的杂质的含量小于0.1mg/L，一般在电子、航天或其他特殊行业工艺生产中，为了达到产品所需工艺用水，一般需要电导率0.055μS/cm（电阻率18.2 MΩ?cm）的理论纯水，统称为高纯水或超纯水

目前人们制成的高纯水的纯度已经达到99.999999%，其中杂质含量低于0.01mg/L，将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。高纯水的含盐量在0. 3mg/L以下，电导率小于0. 2μs/cm。

纯水设备防冻措施

如果温度在零度以下必须停止使用纯净水设备;安装在室内的设备必须保证室温不得低于0度，由于水在凝固过程体积会膨胀，如果结冰，直接导致超纯水设备所有的管路、膜壳等都会爆裂，从而发生漏水;如果长时间不用超纯水设备，必须关闭超纯水设备，水全部排出，再次使用前先检查机器外观是否正常，确认正常后才能接通水源电源。

纯水设备中影响反渗透膜通量的因素：回收率

利用率对每段压力降有挺大的危害，在进水流量维持必须的标准下，回收率提升，因为流过ro反渗透髙压侧的浓出水量降低，总压力降减少，回收率降低，总压力降扩大，具体运作说明，ro反渗透膜利用率即便转变不大，也会使总压力差造成0.02MPa上下的转变。回收率对商品水导电率的危害在于盐穿透量和商品水流量，一般而言，系统软件利用率扩大，会提升浓水里的盐分，并相对提升产品水的电导率。