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在单向流洁净室内，干净气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用，洁净室批发，而是靠洁净气流推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，达到净化室内空气的目的。所以，前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”前苏联称之为“被挤压的弱空气射流”。干净空气就好比一个空气活塞，沿着房间这个“气缸”，向前（下）推进，而使尘粒只能前（下）进，海淀洁净室，没有返回，洁净室哪种好，把原有的含尘浓度高的空气挤压出房间。

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每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的***。芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于***，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。

清洁要求（1）清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布；（2）用90%去离子水和10%的异***配置清洁剂；（3）使用已获批准的洁净室专用去污剂；（4）每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。（5）每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。（6）清洁洁净室的地面应使用专用拖把。（7）在洁净室里吸尘应使用带有***过滤器的专用真空吸尘器。（8）所有的门都需要检查并擦干（9）吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。（10）架空地板下也要吸尘及擦拭。（11）三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。（12）工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门远的地方向门的方向擦。

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