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洁净室等级标准和国际标准ISO 14644一样,都是根据悬浮粒子浓度这个***指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,洁净室厂家,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
空态:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备。
静态:各种功能完备、设定安装妥当,塘沽洁净室,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),但是设施内没有操作人员。
动态:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员;如果需要,可从事正常的工作。
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