无尘车间一般包括无尘区、准无尘区和辅佐区三部分。无尘车间的平面安置能够有以下几种方法：

   外廊盘绕式：外廊能够有窗和无窗，兼作观赏和放置一些设备用，有的在外廊内设直勤采暖。外窗有必要是双层密封窗。

   内廊式：无尘车间设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的无尘度等级一般都较高，乃至和无尘车间同级。

   两头式：无尘区设在一边，另一边设准无尘和辅佐用房。

   中心式：为了节省用地、缩短管线，能够无尘区为中心，上下左右被各种辅佐用房和荫蔽管道的空间包围起来，这种方法避开室外气候对无尘区的影响，削减了冷热能耗，利于节能。

芯片从上世纪50年***展至今，大致经历了三大发展阶段:在美国发明起源-在日本加速发展-在韩国与中国台湾成熟分化。前两次半导体产业转移原因分别是:日本在PCDRAM市场获得美国认可;韩国成为PCDRAM新的主要生产者和中国台湾在晶圆代工、芯片封测领域成为代工。如今中国已成为半导体大的市场，在强大的需求和有力的政策推动下，芯片行业正迎来第三次产业转移，向大陆转移的趋势已不可阻挡。集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关，而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。

在车间工作，如果没有正确的做到设计和维护工作，可能会因为无尘问题，空气中的氧气因为被隔离而减少，导致***缺氧。全身都穿着太空服，紧包着身体，皮肤的呼吸也受到影响，像呼出的二氧化碳又被吸入皮肤，导致毛孔增大，头皮也因此厉害掉头发；手套问题，因为手套理的防腐剂也会让手皮肤老化，就是皱皱的，敏感的人甚至会脱皮。

如果无尘车间设计合理，使用得当其本身对***无害，而且清洁的空气，恒温恒湿的环境还会让人感到很舒适。无尘车间想要对身体无害，需要无尘车间的设计和施工都符合标准。例如层高如果低于2.3米的话人会很压抑，每人每小时新风量小于四十立方也会很难受。

为了证明无尘车间工作得令人满意,必须证明其满足了下述准则的要求：

1.无尘车间的送风量充足，足以稀释或消除室内产生的污染。

2.无尘车间内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动，受污染空气的流动达到程度，空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。

3.无尘车间的送风不会显著增加室内的污染。

4.无尘车间室内空气的运动状态可保证密室内没有高浓度聚集区域。

如果洁净室达到了上述这些准则的要求，就可以测量其粒子浓度或微生物浓度（必要时），以确定其达到了规定的洁净室标准。