常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中不可少的主力泵种。近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

       涡旋真空泵由涡旋式压缩机演变而来，机构原理早由法国人Cruex于1905年发明，但受限于当时的工艺技术并未应用于实际，直到上世纪80年代前后才应用于真空技术领域。其结构简单，零部件少；间隙小、泄漏率小，具有较高的压缩比，在较宽压力范围内有稳定的抽速；并且其压缩腔内容积的变化是连续的，因而驱动力矩变化小，功率变化小；振动噪声小，无需冷却水与润滑油，维护简单，可靠性高。

       由于涡旋式真空泵自身型线的特点，一般情况下，涡旋式真空泵泵的抽速不超过1000L/min；抽速大于4L/s的涡旋泵一般采用双侧涡旋结构，而抽速小于4L/s的则多采用单侧涡旋结构，极限真空在1Pa左右。

       无油隔膜真空泵是提高过滤效率、加强脱气效果的重要过滤配套设备。为保障过滤介质不被污染，一般均使用无油隔膜式真空泵。此类泵型的真空压力一般在0.08Mpa左右（单级）。提高过滤速度关键是单位时间内的排气量，即真空泵的流量指标，在过滤量大、介质粘度高时颗粒堵塞滤膜情况下尤显突出。无油隔膜真空泵为蒸发、蒸馏、结晶、干燥、升华、过滤减压、脱气提供真空条件，以及溶媒回收、各种强酸、强碱抽取。