硅片清洗 化学清洗

 　化学清洗是为了除去原子、离子不可见的污染,方法较多,有溶剂萃取、酸洗（***、·王水、各种混合酸等）和等离子体法等。其中体系清洗方法效果好，环境污染小。一般方法是将硅片先用成分比为H2SO4:H2O2=5:1或4:1的酸性液清洗。清洗液的强氧化性,将有机物分解而除去；用超纯水冲洗后,再用成分比为H2O:H2O2:NH4OH=5:2:1或5:1:1或7:2:1的碱性清洗液清洗,由于H2O2的氧化作用和NH4OH的络合作用，许多金属离子形成稳定的可溶性络合物而溶于水；然后使用成分比为H2O:H2O2:HCL=7:2:1或5:2:1的酸性清洗液，由于H2O2的氧化作用和盐酸的溶解，以及氯离子的络合性，许多金属生成溶于水的络离子，从而达到清洗的目的。

在电子行业，非常重要，无论是电子厂的批量生产还是维修点的单块电路板都需要将其清洗干净，以免污垢或者焊锡对电路产生影响，甚至可能短路。使用超声波清洗是目前为有效的手段，一台超声波清洗机即可实现批量清洗电路板，目前超声波清洗电路板主要有三大***：

清除松香锡珠

电路板在过锡炉后或者焊接电子元器件后会粘上焊锡，甚至会形成一些粘连得较牢固的锡珠，而在焊接元器件管脚时也会使用到松香，焊接后会留下一块块黑色的污渍，这既影响到电路板的外观，也可能会导致电路板短路烧坏，因此在电子车间，需要使用超声波清洗机清除电路板上的松香锡珠。一般对于小批量的清洗使用台式单槽超声波清洗机即可，如果是大批量生产就需要用到多槽机甚至是全自动清洗线了。

去除灰尘

这主要在电路板维修时用得较多，特别是电脑主板、电视机主板等较大电器上用的电路板居多，由于长期使用，这些电器内部难免会积累大量灰尘，主板上也会粘上厚厚的一层，因此在维修前必须清洗干净。使用超声波清洗机只需将主板放入清洗槽中，放入适量酒精或者洗板水，清洗十来分钟即可清洗干净，不留死角。

超声波清洗机在各个行业的应用

光学、光电、光伏行业：

需要清洗的产品：光学玻璃及组件、光电玻璃及组件、光伏玻璃及组件等

污染源1：研磨粉、真漆、沥青、润滑油、抛光剂、石墨、微尘

污染源2：尘垢、盐、手垢

使用清洗剂1：有机性洗涤剂，醇类(·等)

使用清洗剂2：碱性洗涤剂,酸性洗涤剂,中性洗涤剂，纯水

清洗设备是指可用于替代人工来清洁工件表面油、蜡、尘、氧化层等污渍与污迹的机械设备。目前市面上所见到清洗设备为：超声波清洗、高压喷淋清洗、激光清洗、蒸汽清洗、干冰清洗及复合型清洗设备等；

面板显示使用的是玻璃基板作为电路的载体，所有的膜质以及对膜质光刻后的图形都是依附在玻璃基板上。在每次成膜或者光刻前都要对玻璃基板表面进行深入清洁，虽然玻璃基板是在无尘车间里运行，但是，还是会存在各种***（particle）：无机类***和有机类***，所以，清洗设备的较大作用就是去除表面的***，来提升产品的整体良率。