RCA清洗法:自从20世纪70年代RCA清洗法问世之后，几十年来被广泛采用。它的基本步骤初期只包括碱性氧化和酸性氧化两步，但目前使用的RCA清洗大多包括四步，即先用含***的酸性进行酸性氧化清洗，再用含胺的弱碱性进行碱清洗，接着用稀的qing氟酸溶液进行清洗，然后用含盐酸的酸性进行酸性氧化清洗，在每次清洗中间都要用超纯水（DI水）进行漂洗，然后再用低沸点进行干燥。

根据超级电容的设计生产能力，标准配置也可以进行调整，设备数量因产量而增加或减少。

全自动超级电容真空干燥系统系统特点：

在各单个制备工序以及在从一道工序转移到下一道工序的过程中完全实现真空环境；

高真空度、高工作温度、高温度均匀度、技术参数全程·、自动化控制。

全自动超级电容真空干燥系统优势：

真空干燥时间可达3-4小时，比传统工艺24-36小时数倍缩短，生产效率数倍提高；

制备全过程高真空环境，高工作温度,高温度均匀度

有效排除超级电容CELL内部水、气、杂质的影响；

从而提高CELL功率密度，降低CELL内阻，改善CELL高频特性；

极大地提升了超级电容CELL和MODULES的一致性及使用寿命等技术参数。

工业超声波清洗机的优势如下：

清洁工件死角：超声波清洗机对于手工及其它清洗方式不能完全有效地进行清洗的工件，具有显著的清洗效果，可达到清洗要求、清除复杂工件藏角死角处污渍；

多种工件批量清洗：不管工件形状多么复杂，将其放入清洗液内，只要是能接触到液体的地方，超声波清洗作用都能达到。超声波清洗机对形状和结构复杂的工件尤为适用；

多功能清洁：超声波清洗机可结合不同的溶剂达到不同的效果、满足不同配套生产工艺，如：除油，除锈、除尘、除蜡、除屑、除或磷化、钝化、陶化、电镀等。