基于APM（NH4OH:H2O2:H2O）的化学材料在微粒去除方面仍占主宰地位，但如果没有兆频超声波强化，其作用就不是很有效。基于起初RCA（HPM：HCl:H2O2:H2O）配方的去除金属的化学材料差不多都放弃了。

      与洁净得多的抗蚀剂和化学材料结合在一起的创新化学是在这一领域成功的关键。此外，几何图形非常密集的器件制造的污染控制也推动了各种创新技术的研发，例如包括超临界CO2（SCCO2）清洗。

根据超级电容的设计生产能力，标准配置也可以进行调整，设备数量因产量而增加或减少。

全自动超级电容真空干燥系统系统特点：

在各单个制备工序以及在从一道工序转移到下一道工序的过程中完全实现真空环境；

高真空度、高工作温度、高温度均匀度、技术参数全程·、自动化控制。

全自动超级电容真空干燥系统优势：

真空干燥时间可达3-4小时，比传统工艺24-36小时数倍缩短，生产效率数倍提高；

制备全过程高真空环境，高工作温度,高温度均匀度

有效排除超级电容CELL内部水、气、杂质的影响；

从而提高CELL功率密度，降低CELL内阻，改善CELL高频特性；

极大地提升了超级电容CELL和MODULES的一致性及使用寿命等技术参数。

氨水加氧化剂清洗液：

      在表面污物被氧化和刻蚀的同时也会发生MCP表面粗糙现象,造成MCP表面“发毛”和划道或路子等伤害,造成产品质量下降,因此应控制合适的温度和清洗时间,并及时用水漂洗干净。

超级电容行业数年内将会克服技术壁垒、市场蓬勃发展。

超级电容具有功率密度高、充放电时间短、循环寿命长、工作温度范围宽、无污染的优点，材料构成、生产、使用、储存以及拆解过程均没有污染，是理想的绿色环保电源；但是，超级电容存在技术壁垒，比如能量密度小、内阻大等等；基本都与下面阐述的超级电容制造工序真空干燥工艺直接相关。

2006年美国MAXWELL找到了TIME，就开发全工序全自动的真空干燥系统，双方一拍即合；同时TIME承诺保密到2010年。

TIME一年半后开发出样机，用3年为MAXWELL装备了·条全自动超级电容真空干燥线。（·）

在***科技部、深圳市·的技术创新资金支持下， TIME在2009年12月取得了全自动超级电容真空干燥线6个相关证书； 2011年初，又为MAXWELL装备了第二条全自动超级电容真空干燥线。（第二代）

了解超声波清洗机

    超声波清洗机清洗方法逾越一样平常以的成例荡涤方法，格外是工件的表面比较繁杂，象一些表面高低不平，有盲孔的机器零部件，一些格外小而对干净度有较高要求的产品如：钟表和精密机器的零件，电子元器件，电路板组件等，应用超声波清洗机清洗都能到达很理想的成绩。

　　超声波产生器超声荡涤成绩不一定与（功率×荡涤工夫）成正比，有时用小功率，花费很暂时也不有清除污垢。而假定功率到达一定数值，有时很快便将污垢去除。若抉择功率太大，空化强度将大大增进，荡涤成绩是提高了，但这时使较精密的零件也产生蚀点，得不偿失，何况荡涤缸底部振动板处空化很有问题，水滴腐蚀也增大，根蒂根蒂根基上不有标题问题，但采纳水或水溶性荡涤液时，易于受到水滴腐蚀，假定振动板表面已受到伤痕，强功率上水底产生空化腐蚀更很有问题，是以要按实践应用环境抉择超声功率。