比如说在微电子工作的芯片出产过程中,对微粒的控制要抵达分子级,该工作对出产环境要求非常苛刻,如不满意出产的环境需求就无法进行出产,或者说出产出来的产品都是报废品,无法运用。无尘室的建筑布局上一般在厂房外设置一环形密封走廊。它使洁净区与外界有了一个缓冲地带。能够防止外界污染同时也相对节能。厂房内门窗宜于内墙面平整,不设置窗台。负压密封,FFU送风系统的静压箱为负压,因此即使风口安装存在泄漏,也是从无尘室向静压箱泄漏,不会形成对无尘室的污染。
能够防止外界污染同时也相对节能。厂房内门窗宜于内墙面平整,不设置窗台。无尘室使用FFU的注意事项:利用FFU解决净化工程存在的问题,利用FFU可以节省空间,解决无尘室吊顶顶端维修空间狭小的问题。由于高1级别的无尘室(如百级间)需要百级甚至十级层流罩用以解决工艺需求,洁净室吊顶上部将设立一个个巨大的送风静压箱,静压箱内设立通风机,这些静压箱连同送风管、回风管占据了很大的空间,使得维修空间变的狭小,有时甚至影响消防通道的使用。
无尘室噪音控制:FFU的风机一般为几台甚至几十台并联使用,当设计时要考虑FFU噪音的叠加,保证《洁净室厂房设计规范GB0073-2001》中明确规定“洁净室内的噪音级(空态),非单向流洁净室不应大于60dB,单向流、混合流洁净室不应大于65dB”的要求。因此在选择风机时***好选择、压出式、直驱后径向叶片风机,这样可以降低整体噪音。
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