由于控制元件为FFU自带,分布在洁净室吊顶内的各个位置,工作人员必须在现场通过拨挡开关来调节FFU,控制起来极不方便,而且FFU的风速可调范围有限,于几档。采用多档开关控制方式优点是控制简单、成本低,但存在许多缺陷,比如能耗大、不能平滑调速、没有反馈信号、不能实现灵活的组群1控制等。比如说在微电子工作的芯片出产过程中,对微粒的控制要抵达分子级,该工作对出产环境要求非常苛刻,如不满意出产的环境需求就无法进行出产,或者说出产出来的产品都是报废品,无法运用。
无尘室FFU控制方式的选择:多档开关控制系统:此系统只包括FFU自带的一个调速开关和一个电源开关。由于控制元件为FFU自带,分布在洁净室吊顶内的各个位置,工作人员必须在现场通过拨挡开关来调节FFU,控制起来极不方便,而且FFU的风速可调范围有限,于几档。采用多档开关控制方式优点是控制简单、成本低,但存在许多缺陷,比如能耗大、不能平滑调速、没有反馈信号、不能实现灵活的组群1控制等。
比如说在微电子工作的芯片出产过程中,对微粒的控制要抵达分子级,该工作对出产环境要求非常苛刻,如不满意出产的环境需求就无法进行出产,或者说出产出来的产品都是报废品,无法运用。无尘室需要注意的细节问题:风管要求经济与效率并重,在无尘车间工程集中或净化空调系统中,对风管的要求是既经济又能有效地送风。前者要求体现在价格低廉,方便施工,运行成本,内表面光滑阻力小。后者是指严密性好,不漏气,不发尘,不积尘,不污染,可耐火、耐腐蚀、耐潮湿。负压密封,FFU送风系统的静压箱为负压,因此即使风口安装存在泄漏,也是从无尘室向静压箱泄漏,不会形成对无尘室的污染。
这对于通常集中送风的净化系统来说几乎是不可能达到同样效果的。无尘室龙骨架的选用:由于FFU的风机过滤机组是直接安装在天花板骨架间,为了使过滤器既要更换简便快捷,又要使FFU的风机运行保持平衡,减少安装失衡的机率。因此一般考虑配套的龙骨架。这种龙骨架是采用机械冷轧成特殊几何形状(U形)的型钢,金属表面根据其环境不同,进行防腐处理(如静电喷涂、热冷镀锌、环氧等),可以即保证了与之相似槽钢的强度,又满足了FFU运行的需求。
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