无尘室的建筑布局上一般在厂房外设置一环形密封走廊。它使洁净区与外界有了一个缓冲地带。能够防止外界污染同时也相对节能。厂房内门窗宜于内墙面平整,不设置窗台。FFU的维护管理:采用FFU送风方式时,往往不是单台设备而是数十台、数百台FFU布置在吊顶上,因此给维护管理带来一定的难度。一般过滤器从洁净室内进行更换,而风机多数需要在龙骨架顶端(静压箱内部)维护,但如果静压箱没有足够的高度无法从内部维护风机时,那么就要考虑从无尘室内部进行维护风机的可行性了。总之,在应用FFU时要根据实际情况进行考虑,达到既保留其特点又降低成本的目的。
无尘室门窗缝隙的处理一般来说,无尘室门窗大都共同具有三类构造缝隙。一类是樘的组合拼接和樘与无尘室门洞间的安装缝隙;二类是樘与开启扇之间的搭接缝隙;三类是玻璃或其他芯板的安装缝隙。通常所提的无尘室门的空气泄漏无非是由上述三种缝隙产生的问题。万级无尘车间标准包括哪些内容?压差:相同洁净度等级的洁净室压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa,洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。
无尘室龙骨架的选用:由于FFU的风机过滤机组是直接安装在天花板骨架间,为了使过滤器既要更换简便快捷,又要使FFU的风机运行保持平衡,减少安装失衡的机率。因此一般考虑配套的龙骨架。这种龙骨架是采用机械冷轧成特殊几何形状(U形)的型钢,金属表面根据其环境不同,进行防腐处理(如静电喷涂、热冷镀锌、环氧等),可以即保证了与之相似槽钢的强度,又满足了FFU运行的需求。
比如说在微电子工作的芯片出产过程中,对微粒的控制要抵达分子级,该工作对出产环境要求非常苛刻,如不满意出产的环境需求就无法进行出产,或者说出产出来的产品都是报废品,无法运用。自控装置保证全程调节。目前,有的生产厂家采用手动方式进行控制风量和风压的调节,但由于控制风量和风压的调节阀均在技术隔层,而且吊顶也都是彩钢板的软吊顶,基本上都是在安装调试时调好,此后,大都没再调节过,实际上也无法调节。无尘室FFU控制方式:目前FFU一般采用单相多速交流电机、三相多速交流电机和直流电机。电机的供电电压大致有110V、220V、270V、380V四种。
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