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数字气体质量流量计选型中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa,若压差低于低值(0.1?MPa),有可能控制达不到满量程值;若高于高值(0.3MPa),有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,并且要求气压要相对稳定。
⑴、流体的脉动对质量流量计的影响究竟是一个什么样的量化结果,一定量的脉动需要多长时间质量流量计才能再次处于稳定的正常工作状态。相应地,检定质量流量计的流量工作标准应达到什么样的对应指标才是合格的?
⑵、质量流量计在线检定时,其流量点及流量范围的选取是按现行的标准条款还是按实际的使用流量范围考虑,标准应给出明确的规定。关于这一点,在贸易交接计量方面非常突出,买卖双方均无法说服对方,制造出了仲裁的真空地带。另外,按现行的标准条款执行时,现场供液设备和工艺条件不能满足或不允许是一大需要考虑的因素;
⑶、质量流量计在线检定应采用什么样的流量标准装置,现行的标准文本不是很明确。标准只是对质量流量计可行的标准装置方案给予列出,没有具体到在线检定方面。
1. 在同样温度条件下,该装置不需冷却介质;
2. 安装方便,无须外加管道及电子线路系统;
3. 可直接读出瞬时流速值(或累积总量);
4. 热式气体流量计能远距离输送气体并对环境适应力强,易实现集中供气。
热式气体流量计的工作原理是基于卡诺循环定律。热电偶的两条支路中有一个为高温区,另一端则通常与低温处接触而成冷线(或称“测点”);当流经热电极的物质进入检测器后会因受热产生相应变化,由此在传感器上引起输出信号改变。在一个密封管路中,装有两种或者多种不同温度和压力下测得的饱和蒸汽(或空气)混合物。当通入第三类型流体时产生了相变化而被输送至远离阀出口处的另一端;这样;就使液体沿着与大气连接好的导向管道进行循环运动。
根据气体流量计使用说明书要求,首先应该检查确定气体流量计是否正常工作。根据气体流量计检定证书或出厂校验单,检查转换器中影响计量准确度关键参数的输入是否正确。具备停流条件的管道,检查流量计的零点流量。
远程校验要求,必须取下气体流量计并把它送交二级或一级流量标准处校验,然后这些新的校验因子被输入到现存的数据采集系统。虽然远程校验可能会提供更高的准确度,但以系统的角度看该方法未必准确真实,而且改方法操作起来既昂贵又费力。
如果流动条件可以估算出来,那么就可以在与操作条件不同的条件下对气体流量计进行校准,估算流动条件所采用的参数通常为关于该气体流量计入口直径的数。
首先,将操作条件范围转换为数范围。
其次,所选定的校准设备要符合所规定的数范围。
然后,在不同的压力条件下或采用不同的气体进行校准。
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