电动平移台光学平台,又称光学面包板、光学桌面、科学桌面、实验平台,供水平、稳定的台面,一般平台都需要进行隔振等措施,保证其不受外界因素干扰,使科学实验正常进行。光学平台追求水平,首先加工的时候整个台面是极平的。之后台面置放与四个联通的气囊上,以保证台面水平。台面上布满成正方形排列的工程螺纹孔,用这些孔和相应的螺丝可以固定光学元件。这样,当你完成光学设备的搭建,系统基本不会受外来扰动而产生变化。即使按动台面,它也会因为气囊而自动回复水平。
光学平板在高精度的科学实验中,也是为严谨的科学实验做出了极大地贡献。下面我们就来了解一下光学平板到底是什么。
光学平板指的是光学平板的两面都被精密抛光,它通常作为分光镜或窗口等透过型元件,或被用作全反射镜或光学测量中的基准平面现象。
一般分为三种材料类型的光学平板:BK7,SFS 和准分子激光用 SFS。其中大部分产品有各种指标的组合:形状(圆形或方形),面精度(λ,λ/4,λ/10,λ/20),多种厚度和平行度。BK7基板常用于可见光和近红外区。从紫外到近红外,SFS的温度稳定性,耐热性都很好。准分子激光用SFS,用于高功率的准分子激光 KrF(248nm)时,具有低萤光特性。去除抛光面的次表面缺陷(微小裂纹),对于改善膜的质量,提高耐高功率激光的稳定性很重要。尽可能地控制磨料,温度和研磨过程,减少次表面缺陷。
这种双面加工,一般速度不高。下模比较大,上模比较小,挡圈直径比上模大,比下模小。适当地调节上模的摆动量,可以实现平板的上下表面同时精磨或抛光。研磨或抛光时,人工将磨料或抛光粉间断地添加到下模和平板的表面。这种低速的双面加工,比单面加工提高了效率,但被加工的平面度和双面的平行度则达不到很高的要求,所以只适用于般精度平板的加工。
随着大规模、超大规模集成电路制造技术的发展,由于大批量半导体硅片加工的需要,国外出现了双面高速加工机床,适用于半导体硅片的双面研磨和抛光,进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。
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