随着***的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。例如，用显微镜对图像进行高度放大的成像系统，显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果，在***过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动，不存在相对位移，成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动，则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时，控制相对运动都是很重要的。

光学平台隔振注意事项

无论何种激光应用，为维持光路稳定，振动隔离和桌面阻尼的重要性都是再强调也不为过。一套复杂的光学系统是否稳定，在很大程度上取决于光学平台和隔振腿的性能。随着应用的不断丰富，光学系统的设计正变得愈发复杂，也为光路稳定性带来更大挑战——如果安装使用不正确，将难以起到效果。

光学平台的作用是提供动态刚度(Dynamic rigidity)。光路的稳定性主要受桌面长轴方向上点对点的相对运动影响。这些相对运动产生于桌面上搭建的设备、空气调节(HVAC)系统以及其他声音来源。削减这些振动的方案是在来源处即行隔绝，比如在设备与桌面间放置柔性垫、为排气管增加挡板或使用隔声罩。需要注意的是，光学平台尽管提供了相对稳定的环境，但不能完全阻止来自桌面本身的振动，从而影响桌面上的其他设备。

光学平台安装步骤

一：把自水平支架摆放在您所需要的位置

二：把光学平台台面放在自水平支架上面，并且左右居中放置

三：把自水平支架Z下面的地脚调节起来，使脚轮脱离地面， 然后把水平尺放在光学平台台面上，调节四个地脚，使其在未充气的条件下先调平

四：连接气泵并充气，然后在用3个自水平调节平衡即可

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光学仪器设备起雾的原因及其危害

雾是指光学零件的抛光面上，呈现出'露水'似的物质，这些物质有的是油质点子构成的，称为油性雾，有的是由水珠或水与玻璃起化学反应形成堆积物构成的，称为水性雾：有的光学零件上，两种雾都有，叫做水油混合雾，一般的都以'露水'状或干的堆积物存在于玻璃表面上。油性雾通常分布在元形光学零件的边缘，并向***伸延，有的则沿擦拭痕迹分布，油性雾的形成主要是油脂污染了玻璃表面，或是由于油脂的扩散，挥发在玻璃表面凝结而造成的，比如擦拭光学零件所用的辅料含脂量高，或者所用的工具带有油脂，用手指直接拿取和触及光学零件等，都会引起油性雾，或者是光学仪器上所用油脂的化学稳定性不好，产生扩散或使用方法不当涂油过多，油脂扩散到光学零件上而引起油性雾，或者是由于仪表油脂挥发性很大，会产生油质蒸气而形成油性雾。