光学平台支架:
光学平台支架按其隔振形式主要分为:机械式隔振支架与气垫式隔振支架。
机械式隔振支架主要是利用各种隔振材料(如:减震弹簧、隔振橡胶等)将主动或被动震源尽量阻隔,使其尽可能少地传递到光学平台上。特点是造价相对便宜,使用和维护方便。缺点是只能用于环境震动相对较好的场合。
气垫式隔振支架是利用气垫的原理,将光学平台架在气垫上以达到隔振的效果。特点是:隔振效果好。但是造价较高,使用和维护繁琐。针对维护繁琐的情况又出现了自平衡(主动隔振)系统。原理是利用各种传感器提供的平台平衡状况,通过控制系统调节各个隔振支撑的气压来达到平衡的目的。
随着***的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性,我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多,比如地面的自振,各种声音等等。但是影响Z大的是各种低频的振源,主要集中在10~100Hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。
光学平台的主要配件有支撑架,光学平台包括刚性、无隔振支撑架,被动式隔振支撑架,主动式自动调平支撑架。光学平台其他配件还包括货架、安装座、桌下搁板、振动隔离配件、可安装支杆的光学平台配件、可调式光学爬升架安装座、光学面包板罩壳、遮光材料、磁性薄片等等。
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光学平台主要用于实验室中搭建光路或固定仪器,光学平台的安装需要专员处理。
光学平台安装前的准备
1. 设备搬运至安装点后,请根据货物装箱单检查货物件数和套数。
2. 请检查桌面、桌腿、气泵等是否完好无损伤。
3. 检查气泵加油塞和呼吸塞内密封圈是否已经取下,内部海绵塞是否放置且可用,保证进气畅通;通过泵体上的观油镜(或内部油尺)检查润滑油是否适量。需要添加润滑油时,请使用DB-10号变压器油。
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