随着经济的发展,光学平板的使用越来越多,从紫外到近红外,SFS的温度稳定性,耐热性都很好。 准分子激光用SFS,用于高功率的准分子激光 去除抛光面的次表面缺陷(微小裂纹),对于改善膜的质量,提高耐高功率激光的稳定性很重要。光学板的两侧经过抛光,通常用作透射元件,如分光镜或窗口,或用作全反射器或光学测量的参考面。Bk7基板通常用于可见光和近红外区域。从紫外到近红外,sfs 具有良好的温度稳定性和耐热性。用于高功率准分子激光器 krf (248nm)的准分子激光器 sfs 具有较低的荧光性能。
光学面包板采用铁磁不锈钢材质精加工而成,顶板上设有规则的间隔,内部采用三层夹心结构、上台面为不锈钢,内芯采用蜂窝状支撑结构,地面为碳钢,增加刚性,减少重量,抗振性好。表面粗糙度: 0.8-1.6um,振幅: < 5μm,平面度: < 0.05mm/m2。
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光电仪器中的保护玻璃和分划板、制造集成电路的基片、平面显示器玻璃,都是属于一般精度要求的平板类平面光学零件,由于这类零件的需求量日益增大,使这类零件的双面加工技术逐渐发展成熟。
双面加工技术指同时对平板类光学零件的两个平面同步进行加工的技术。显然,这种两面同步加工的技术,比每个面分别单次加工的效率要高得多,但相应的设备要求和控制要求也要高得多。
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