







随着***的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。例如,用显微镜对图像进行高度放大的成像系统,显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果,在***过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动,不存在相对位移,成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动,则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时,控制相对运动都是很重要的。

平台安装注意事项:隔振平台系统能不能运载到实验室固***置,是一定要慎重考虑的。与工程人员、同事、或装配工一同走一遍安装路线——接收点、电梯、走廊、门口甚至窗口(如果需要使用起重机),可以发现可能存在的物流问题,并对系统方案做出必要的修改。其次需要注意的是实验室的配套设备,包括电压电流、照明、干燥气体供应(用于支持维持系统)以及空气调节系统。如果缺乏清洁的干燥气体,则需要使用高质量的空气压缩机。不洁或潮湿的气体会极大地影响气浮隔振系统,不合规定的电源会产生不必要的噪声,乃至精密电子设备的浪涌。
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