1000级一般只对尘埃浓度做要求,用于光学器件,仪器等高精仪器等10000级,用于液压设备的生产,和一些食品饮料的生产。100000级,这个级别比较的低,对净化度要求不是很高,主要在印刷厂,包装厂等。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。
在实际施工中,净化项目通常分为,分工和分时。这种安排有利于各种和工作类型的管理。但是,易于进行多尘和无尘的交叉操作,应尽可能避免这种结构布置。如果不可避免,应该防止灰尘和有效清洁。设计净化系统***的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亚(或)三级过滤器。也可分四级,增加一级过滤器。洁净室中的温湿度控制。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
1000级一般只对尘埃浓度做要求,用于光学器件,仪器等高精仪器等10000级,用于液压设备的生产,和一些食品饮料的生产。100000级,这个级别比较的低,对净化度要求不是很高,主要在印刷厂,包装厂等。1级:尘埃易使芯片失效或者稳定性下降,当金属尘埃落于集成电路上时,就可能造成短路。当空气中的酸性离子落在电路上时,可能将电路腐蚀,因此净化空调系统对微电子工业而言至关重要。此外,液晶、光纤的生产也需要1级洁净度的要求。洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间"。
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