洁净室中的温湿度控制。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。净化工程在设计时,无论是新建还是重新改造的净化车间,都一定依照***相关标准、规范进行。洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间"。
10级:主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级,并且我国半导体技术也在发展之中,在未来对洁净度的要求更加高。1000级一般只对尘埃浓度做要求,用于光学器件,仪器等高精仪器等10000级,用于液压设备的生产,和一些食品饮料的生产。100000级,这个级别比较的低,对净化度要求不是很高,主要在印刷厂,包装厂等。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
100级:是常用的净化工程,除了对空气中的尘埃数有要求,对空气中***的浓度也有明确要求。一般用于行业进行无菌制造,例如制造临床用于植入体内的物品,***生产。***科学实验也在此环境中,包括实验动物饲养环境。净化工程的一般施工程序:粉尘作业,无尘作业后,不允许交叉作业。否则会影响项目的质量。也就是说,在完成所有粉尘产生操作之后,可以进行无尘操作。现在我们***的净化工程已经在朝着节能的方向发展了,其他人很少知道净化工程的耗能量特别大,时候普通写字楼的20倍,比美国更发达***高出了15%。看到这些令人心惊的数字,我们***的科学家们从节能的角度出发从根本上出出发,设计出能够节省的相关设备。
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