无尘车间分为几个等级，分别为1级≥百级级≥千级级≥万级≥十万级≥百万，越排在前面的，级别越高，1级是级别排首位的。无尘车间动线规划要点：要检讨分析人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以防止交叉污染。所谓10万级是指一英尺的空间内允许存在的0。5微米的尘埃粒子的个数在10万个以内。人和物是洁净室无尘车间的主要尘源，因此必须充分控制。

无尘车间设计要求：空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理，应采用初、中、高过滤器三级过滤器。无尘车间施工注意事项：板材铺贴前，应先分类。嵌固前，将杂质剔除干净，保持表面干燥。设备入口应随时封闭，防止杂物进入。无尘车间系统：室内的空气净化系统可分为水平层流，垂直层流和乱流，选择气流形式一则参照惯例，二则取决于房间的工作参数。

在新型生产车间的技术领域，更具体地说是无尘车间，包括车间的外墙配有吸收声音的内墙，并安装吸收声音的内壁内部并有控制中心，吸音装置设有阻尼地板振动内壁的底部，并且供气消声器安装在过滤装置，并安装在车间的外壁上，改善了工人的工作环境，提高了生产率。10级：十级的无尘车间适用于网络带宽低于2μm的半导体材料工业生产。