布置工艺的流程尽可能短,减少交叉往复,、物流走向合理。要配备人员净化室、物料净化室,除配备产品工序要求的用室外,还应配备洁具室、洗衣间、暂存室等,每间用室相互***,净化工程的面积应在保证基本要求前提下,与生产规模相适应。净化工程在设计时,工程的墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,其特点为美观、刚性强。
压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。净化工程在设计时,无论是新建还是重新改造的净化车间,都一定依照***相关标准、规范进行。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间"现在我们***的净化工程已经在朝着节能的方向发展了,除了人士以外,其他人很少知道净化工程的耗能量特别大,时候普通写字楼的20倍,比美国更发达***高出了15%。看到这些令人心惊的数字,我们***的科学家们从节能的角度出发从根本上出出发,设计出能够节省的相关设备。
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