无尘车间FFU|芯片制造环境与工艺良品率净化工程装修

在关键技术和“卡脖子”领域，中国正在全力打造集成电路创新高地和集成电路产业快速发展，在芯片制造领域，中芯国际、华虹集团年销售额在国内位居前两位，14纳米和28纳米***工艺已分别实现了量产。洁净室行业某FFU供应商为国内芯片行业企业做配套服务，提供末端洁净设备。

洁净室环境直接影响芯片制程工艺良品率。芯片的制造要用到数百个步骤，整个过程中温度、空气洁净度受到非常严格的控制，在这种环境的无尘室，通过各种机械设备，将晶圆片不断的流转进行加工，经过严格的制程和严格的无尘环境下完成封装芯片。众所周知，空气中本就充满尘埃，细小到肉眼不可见，但是这些尘埃如落在生产芯片的环境中，对于每一个晶体管的体积它就是很大颗粒了，在制程中尘埃或者污染物落到晶圆上，会造成芯片的短路及烧损等其他不良。

因此保证芯片的高良率，就要保护它的高生产环境和洁净度!

无尘车间设计要点—空气净化

1.过滤；2.灭菌；3.常用净化设备；4.过滤器的密封处理；5.换气次数与断面风速。

过滤是指从现有的一批物质中筛选出符合条件的物质,去掉不符合条件的另一部分物质。空气过滤是筛选出洁净空气,去除掉尘埃粒子。用于过滤空气的设备是空气过滤器。

静压箱下方带有风量调节钮，可在下方直接调节风量。

过滤器的密封处理过滤器的安装密封是空气净化的关键,也是长期以来的一个难点.过滤器安装后的捡漏是难通过的一项检验,许多洁净室的不成功就是因为密封没做好.即使洁净度达标,其捡漏也未必达标。这在其他洁净室可能不是大问题，但在制药行业的生物洁净室泄漏就意味着生菌，所以密封对生物洁净室来说是关键中的关键。

过滤器多久更换一次?净化工程装修

净化工程装修在制药行业，过滤器（HEPA）用于生产空间空气的处理和过滤的终端过滤器。无菌生产要求强制使用过滤器，而固体和半固体剂型的生产有时也会使用。H13至H14（DIN1822）是过滤器的两种，后者截留率为99.995%。但多久必须更换一次呢？

我们经常看到在公司内部文件中，要求每年更换过滤器，而不管检测结果如何。这是否合理？在相关的GMP指南中并没有过滤器可以使用期限的具体数值。根据GMP的要求，过滤器不得有泄漏，这需要通过确认和定期执行ISO14644-3中的泄漏测试，无菌车间来说这是必须的。根据附录1（PIC/S PI032-2）的技术诠释，A/B级每6个月进行泄漏测试，C/D级则为12个月。FDA无菌指南要求进行定期检查。附录1的要求在这里也适用。泄漏是可以修补的，但修补的面积不能超过单个过滤器面积的0.5%。

当然，过滤器(www.bacclean.com)并不只有完整性一件事情。过滤器（层）的负载以及上下游压差也很重要。如果过滤器上下游压差升高，则送排风系统的能量需求会增加，这样才能维持必须的换气次数。这样的过滤器上下游压差可能会增加通风系统的性能限制。为了保护过滤器，就要使用前端过滤器---通常是像F7和F9过滤器（EN779）这样的精细过滤器。这些过滤器必须定期更换以保护过滤器避免堵塞。

净化车间洁净空调风管制作安装工法净化工程装修

1清洗表面油污杂质：板材片料组合成型后，必须再次清洗风管表面油污杂物。

2、铆接成型：风管片料组合成型后，须与风管法兰铆接成型，铆接时要严格按照***规范要求铆接，且铆钉必须经过镀锌处理，铆接后采用涂胶或锡焊的方法填塞缝隙或孔洞，需要加固的风管，加固时加固筋只能设在风管在外表面，且不得采用楞筋方法加固。

30、风管存放：预制完工的风管，如果暂不安装，应使用塑料薄膜将各个管口包好，然后放入风管存放间，并尽快安装。

4、风管安装前清洗：风管在安装上去前应进行的清理，清理时应该采用对板材表面无腐蚀，干燥后不易产尘，对***无害的中性清洁剂，先用清洗液清洗，再用清水清洗，后用干净的布将水痕擦干。

5、风管法兰制作流程及要点：

6、法兰的型材必须达到标准，不得有严重锈蚀、结皮或有麻点。

7、法兰组焊对缝不平整度不大于0.5mm，铆钉孔间距不应大于100mm，螺栓孔间距不应大于120mm，孔距要求准确，并具有互换性。

8、焊渣、焊接飞溅物、浮锈应清除干净。

9、涂刷附着力强的防锈漆两度，螺孔及转角处不得有油漆淋滴现象。