无尘车间FFU|芯片制造环境与工艺良品率洁净厂房设计公司
在关键技术和“卡脖子”领域,中国正在全力打造集成电路创新高地和集成电路产业快速发展,在芯片制造领域,中芯国际、华虹集团年销售额在国内位居前两位,14纳米和28纳米***工艺已分别实现了量产。洁净室行业某FFU供应商为国内芯片行业企业做配套服务,提供末端洁净设备。
洁净室环境直接影响芯片制程工艺良品率。芯片的制造要用到数百个步骤,整个过程中温度、空气洁净度受到非常严格的控制,在这种环境的无尘室,通过各种机械设备,将晶圆片不断的流转进行加工,经过严格的制程和严格的无尘环境下完成封装芯片。众所周知,空气中本就充满尘埃,细小到肉眼不可见,但是这些尘埃如落在生产芯片的环境中,对于每一个晶体管的体积它就是很大颗粒了,在制程中尘埃或者污染物落到晶圆上,会造成芯片的短路及烧损等其他不良。
因此保证芯片的高良率,就要保护它的高生产环境和洁净度!
静压箱的作用及选型
静压箱又称稳压室,连接送风口的大空间箱体。气流在此空间中流速降低趋近于零,动压转化为静压,且各点静压近似相同,使送风口达到均匀送风的效果。(有的装到风机吸入口附近,同样也是起到降低风速作用,风机吸入口的风速过大,防止气流对叶轮的冲击。)
静压箱是一种传统的通风设施,常常被应用于恒温、恒湿和洁净室以及环境气候室这类对室内温度、湿度、洁净度和气流分布均匀性有要求的空调风系统中,一般的空调都是零静压的,用不到静压箱,只有功率大的空调如5HP送风距离远,所以它即可用来减少通风、空调系统中的噪声,又可获得均匀的静压出风,减少动压损失,是送风系统减少动压、增加静压、稳定气流和减少气流振动的一种必要的配件,一般使用镀锌钢板来制作,可使送风效果更加理想。
***洁净空调风管制作安装工法
工法特点
***工程洁净空调风管是在密封的室内进行制作,室内的墙壁光滑、不产尘、不积尘,地面铺设加厚塑料地板,地板与墙体结合处宜用胶带封贴。采用咬口机折方机等机器加工后立即组合成型,操作简单,施工速度快;在风管制作过程中,镀锌钢板经过中性洗涤剂清洗干净后在干净的房间内制作加工,风管加工好后马上密封主干管的管口以保证风管内的清洁度,并尽快安装。采用洁净空调风管制作安装技术能保证洁净要求,提高工程质量,创造经济效益。与原工法相比,此工法要求将风管制作间、风管成品存放间严格分开,并且风管成品在制作完成后两端都应先密封好再放入成品存放间,并尽快安装,另外在原工法要求的必须严格控制好风管的制作安装质量基础上,本工法还要求严格按照规范要求做好风管的漏光、漏风测试,漏风量检测采用我公司《通风空调系统漏风量检测装置》检测,进一步保证风管的严密性及洁净度。
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