旋片真空泵主要由泵体（静子）和转子组成。在转子槽中装有两块以上的旋片，有些泵旋片间还装有弹簧。转子偏心地装在泵腔内，其外缘与泵腔顶部表面的间隙为2～3微米。转子旋转时，在离心力等作用下,旋片沿槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触,将泵腔分成两个或几个可变容积的工作室。转子顺时针方向旋转时,与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大,腔内气体压力降低，被抽气体便从吸气口源源不断地吸入。

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首先应检查气镇阀是否已关好。由于新泵出厂每台都在泵口测极限压力，所以如有外漏现象，应对泵口及管道、阀门、容器逐一检查。外轴封失效、油杯无油、油孔闷头漏气也可造成外漏。内漏可由泵内的运动间隙、排气阀等平面、排气阀的密封面、内轴封、泵盖平面、进气管、气镇阀密封件等引起磨损、腐蚀、咬合会使运转间隙加大。

螺杆真空泵拆卸需要注意的事项：1、任何拆卸的工作必须由的维修技术人员担任，维修人员必须熟悉真空泵相关的安全守则，必须熟悉螺杆真空泵的拆装步骤。2、 真空泵完全停转前不得进行移动、拆卸等操作，并需确认已切断电源。

卸下主、从动转子上的活塞环套甲、轴套，并作好标记。轻轻地从泵体内推出主、从动转子，并将它们用尼龙绳悬挂起来。将水套盲板从泵体上卸下（用于清洗泵体水隔层，可不拆）。使用的清洗剂清洗部件并按照工厂制定的范围更换旧的或者已经损坏的部件。每次组装建议更换新的轴承，密封，垫圈和O型圈。