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分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。  由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。

电是一种自然现象，指静止或移动的电荷所产生的物理现象，是像电子和质子这样的亚原子粒子之间产生的排斥力和吸引力的一种属性。自然界的闪电就是一种电现象。电磁力是自然界四种基本相互作用之一。电子运动现象有两种：缺少电子的原子称为带正电荷

2600年前左右，古希腊的哲学家泰勒斯（Thales, 640-546B.C.）就做了一系列关于静电的观察。从这些观察中，他认为摩擦使琥珀变得磁性化。这与矿石像磁铁矿的性质迥然不同；磁铁矿天然地具有磁性。泰勒斯的见解并不正确。但后来，科学证实了磁与电之间的密切关系。

齿轮是螺杆真空泵上重要的部件之一，它能够使螺杆转子和转子之间保持固定的间隙。本系列螺杆真空泵采用高精度的斜齿轮结构，啮合均匀，稳定性好，运行噪声低。固定端轴承为双列角接触球轴承，延展端轴承为圆柱滚子轴承。这些轴承均能够承受高速高负载运转，同时能够保持与齿轮和转子之间的间隙。